[实用新型]一种双筒真空镀膜机有效
申请号: | 201920070059.6 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN209481779U | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 王百江;王伟 | 申请(专利权)人: | 遵化市宝瑞钛金设备有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 | 代理人: | 宋平 |
地址: | 064200 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发源 真空镀膜机 双筒 镀膜机 镀件 色差 本实用新型 镀膜颜色 交错设置 均匀镀膜 外侧面 内筒 外筒 侧面 | ||
本实用新型公开了一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。实用新型的双筒真空镀膜机能够对镀件外侧面及内侧面同时均匀镀膜,使得镀件内外侧的各个表面都能得到较均匀的镀膜颜色,基本上没有色差。
技术领域
本实用新型涉及一种双筒真空镀膜机。
背景技术
当真空镀膜机需要内径尺寸较大,在满足镀膜工艺要求及真空机组正常工作的前提下,要求内空体积尽量小,这样附加一个内筒以减少镀膜室内体积。目前双筒真空镀膜机的蒸发源安装形式,普遍在外筒安装有蒸发源而内筒没有。这种安装形式对于较大型异形件的镀膜将产生以下问题:
1、有的镀件放入镀膜室内,水平方向比较宽大,镀完后,镀件内侧方向的面与外侧方向的面将产生比较大的颜色差异。
2、有的镀件内外侧的受镀面较大,而用于离子透过的空间相对较小,这样镀件内侧方向的面与外侧方向的面颜色差异会更大。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型的目的是提供一种双筒真空镀膜机。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有多个第一蒸发源,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有多个第二蒸发源,所述第一蒸发源与所述第二蒸发源相同,且所述第二蒸发源与所述第一蒸发源交错设置。
进一步的,所述蒸发源可拆卸固定于所述外筒或内筒上。
进一步的,所述蒸发源通过螺栓组件可拆卸固定于所述外筒或内筒上。
进一步的,所述镀膜机的外筒上由上至下安装有3个及以上数量的第一蒸发源。
进一步的,所述镀膜机的内筒上由上至下也安装有3个及以上数量的第二蒸发源。
与现有技术相比,本实用新型的有益技术效果:
在内筒配合安装多个第二蒸发源,且与外筒上的第一蒸发源交错设置,对镀件外侧面及内侧面同时均匀镀膜,使得镀件内外侧的各个表面都能得到较均匀的镀膜颜色,基本上没有色差。
附图说明
下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型双筒真空镀膜机的结构示意图。
附图标记说明:1、外筒;2、第一蒸发源;3、内筒;4、第二蒸发源;5-镀件。
具体实施方式
如图1所示,一种双筒真空镀膜机,所述镀膜机的外筒1上由上至下安装有3个及以上数量的第一蒸发源2,所述镀膜机的内筒3上由上至下也安装有3个及以上数量的第二蒸发源4,所述第一蒸发源2与所述第二蒸发源4相同,且所述第二蒸发源4与所述第一蒸发源2交错设置。
在本实施例中,所述蒸发源通过螺栓组件可拆卸固定于所述外筒或内筒上或采用本领域常用的其它方式固定。
本实用新型通过外筒1设置的第一蒸发源2和内筒3上的第二蒸发源4,且交错设置,有效的对镀件5外侧面及内侧面同时均匀镀膜,使得镀件5内外侧的各个表面都能得到较均匀的镀膜颜色,基本上没有色差。
以上所述的实施例仅是对本实用新型的优选方式进行描述,并非对本实用新型的范围进行限定,在不脱离本实用新型设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本实用新型的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本实用新型权利要求书确定的保护范围内。
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