[实用新型]离子束设备用双灯丝中和器

说明书

本实用新型公开一种离子束设备用双灯丝中和器，包括法兰、支杆、支架、灯丝A、灯丝B、导线A、导线B、四个电极组成。由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝材料原子不易污染真空室和工件，安装维护方便。

技术领域

本实用新型涉及离子束技术领域，尤其涉及一种离子束设备用双灯丝中和器。

背景技术

离子束溅射镀膜或刻蚀技术为科学研究与生产提供了新工艺、新技术，为当今迅速发展的薄膜集成电路、薄膜传感器、磁性薄膜器件、高温合金导体薄膜等广泛的应用领域提供了新的技术手段。

然而现在这类离子束溅射镀膜或刻蚀设备，离子源中和器仍然用单根灯丝安装在离子源正前方，这种设计好处是中和器完全浸没在离子束中，中和效率高，但中和器灯丝受离子束强烈轰击，灯丝很快变细并最终烧断，寿命大大缩短；没有第二根灯丝备份，在第一根灯丝烧断的情况下不能迅速切换到第二根灯丝，容易中断镀膜或刻蚀工作。同时灯丝材料原子容易污染真空室，影响镀膜或刻蚀效果。另外，中和器灯丝安装在离子源前部，更换灯丝时需要将离子源一同从真空室中取出，操作时间长，难度大。

因此，开发一种独立离子源的双灯丝中和器及其重要。

发明内容

本实用新型的目的在于针对上述问题，提供一种离子束设备用双灯丝中和器，所述中和器和离子源分开安装，且有二根灯丝，中和效果好、安装维护方便、工作时间长。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种离子束设备用双灯丝中和器，包括：

法兰，一种金属钢材料制成，用于固定支杆和穿孔密封安装电极A和电极B；

支架，一种金属钢材料制成，用于穿孔固定所述支杆和穿孔安装电极C和电极D；

灯丝A，一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆的支杆上端部位置，另一端固定在所述电极D上端；

灯丝B，一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆的支杆上端部位置，另一端固定在所述电极C上端；

导线A，可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A的上端部，另一端连接在所述电极C的下端部；

导线B，可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B的上端部，另一端连接在所述电极D的下端部。

所述灯丝A和灯丝B是直径Ø0.2mm至Ø1.2mm的金属丝。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝材料原子不易污染真空室和工件，安装维护方便。

附图说明

图1为本实用新型的离子束设备用双灯丝中和器示意图。

图2为本实用新型的离子束设备用双灯丝中和器和离子源的安装位置示意图。

图3为现有技术的离子源和中和器安装位置示意图。

图中：1、法兰；2、支杆；3、支架 ；4、灯丝A；5、灯丝B；6、导线A；7、导线B；11、电极A；12、电极B；13、电极C；14、电极D；21、支杆上端部；31、真空室；32、双灯丝中和器；33、离子源；34、离子束、35、传统中和器。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。