[实用新型]炉管储存系统

说明书

一种炉管储存系统，包含储存柜及至少一储存座。储存座设置于储存柜并包括枢轴件、承载盘、分隔件及减震件。枢轴件枢设于储存柜并能相对于层板旋转。承载盘套设于枢轴件并适用于供炉管置放，且能受所述枢轴件连动而旋转。分隔件套设于枢轴件且位于承载盘上方，并包括套设于枢轴件的固定部，及多个相间隔地自固定部周缘向外延伸的凸臂部，相邻的两个凸臂部之间供炉管容置。减震件设置于分隔件周缘而供炉管靠抵，以增加储存座对炉管的避震效果。

技术领域

本实用新型涉及一种储存系统，特别是涉及一种炉管储存系统。

背景技术

一般而言，目前于半导体产业之制程中，常见且广泛地通过炉管做为晶圆之承载体，以利晶圆于制程反应设备进行后续的表面处理之程序，而现今常用的炉管多半以石英(SiO₂)制成为主要材质。在大部分的情况下，炉管之使用暨维护方式主要系经过清洁、干燥，以及保存之步骤，使得炉管可以保持良好的洁净状态，以方便后续程序的再利用，同时也兼顾晶圆的品质及其制程良率。

然而，传统的炉管保存方式系直接放置于盛放架，或者是收纳于储存柜内，由此，当炉管的数量较多时，势必需要增加盛放架或储存柜的数量，导致其占地面积也因此扩大，更造成盛放架或储存柜占据室内空间太大的情况。

发明内容

本实用新型之一目的在于提供一种炉管储存系统，以改善上述先前技术的缺点以及不足。

本实用新型的炉管储存系统在一些实施态样中，适用于存放多个炉管，并包含储存柜，及至少一储存座。所述储存柜界定出至少一第一容室，并包括位于第一容室下方的层板，所述第一容室具有开口。所述储存座设置于所述第一容室，并包括枢轴件、承载盘、至少一分隔件，及至少一减震件。所述枢轴件沿中心轴枢设于所述层板并能以所述中心轴为轴心相对于所述层板旋转。所述承载盘套设于所述枢轴件并适用于供所述炉管置放于其上表面，且能受所述枢轴件连动而以所述中心轴为轴心旋转，并使所述承载盘上的每个炉管绕所述中心轴转动而靠近或远离所述开口。所述分隔件套设于所述枢轴件且位于所述承载盘上方，且能受所述枢轴件连动而绕所述中心轴转动，并包括套设于所述枢轴件的固定部，及多个相间隔地自所述固定部周缘向外延伸的凸臂部，相邻的两个凸臂部之间供所述炉管其中一者容置，所述固定部具有多个第一外侧缘，每个第一外侧缘的两相反端分别连接于相邻的两个凸臂部，每个凸臂部具有两个位于相反侧的第二外侧缘，每个第二外侧缘的一端连接于所述第一外侧缘其中一者。所述减震件设置于所述第一外侧缘与所述第二外侧缘而供所述炉管靠抵。

在一些实施态样中，所述储存座包括两个相间隔地套设于所述枢轴件的分隔件，及两个分别设置于所述分隔件的减震件，所述分隔件的所述凸臂部在平行所述中心轴的方向上上下对齐。

在一些实施态样中，所述分隔件分别定义为一第一分隔件及一第二分隔件，所述第一分隔件的每个凸臂部定义为第一凸臂部，所述第二分隔件的每个凸臂部分别为第二凸臂部，所述第一分隔件位于所述第二分隔件与所述承载盘之间，所述储存座还包括多个连接于所述枢轴件且位于所述第一分隔件及所述承载盘之间的第一隔板，所述第一隔板的底面连接于所述承载盘，所述第一隔板的顶面分别连接于所述第一凸臂部的底面。

在一些实施态样中，所述储存座还包括多个连接于所述枢轴件且位于所述第一分隔件及所述第二分隔件之间的第二隔板，每个第二隔板的顶面与底面对应连接于其中一第一凸臂部的顶面及其中一第二凸臂部的底面。

在一些实施态样中，所述减震件是环绕于所述分隔件且包覆所述第一外侧缘与所述第二外侧缘。

在一些实施态样中，所述减震件为防震胶条。

在一些实施态样中，所述储存座还包括多个护管件，每个护管件连接于相邻的两个凸臂部且供其中一炉管设置于所述护管件与所述分隔件之间。

在一些实施态样中，每个护管件具有绳体，及两个分别设置于所述绳体相反两端的卡钩，每个凸臂部具有多个供所述卡钩扣接的连接孔。