[发明专利]一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺在审
| 申请号： | 201911409097.0 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111039579A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;安德吉;张磊;曹明刚;曲东辉;金作林;焦新宇 | 申请（专利权）人： | 沧州天瑞星光热技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C27/00 | 分类号： | C03C27/00;F24S10/70;F24S70/225;F24S70/25;F24S80/58 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 降低 玻璃 金属 结构 应力 低温 退火 工艺 | ||
1.一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一：将封接好的玻璃-金属封接段放入退火炉中；
步骤二：将退火炉中的温度由室温升至200℃，升温速率为5-10℃/min，在200℃的温度下保持10-30min；
步骤三：将退火炉中的温度由200℃升至350℃，升温速率为3-8℃/min，在350℃的温度下保持30-60min；
步骤四：将退火炉中的温度由350℃升至450℃，升温速率为3-8℃/min，在350℃的温度下保持30-60min；
步骤五：将退火炉中的温度由450℃升至520℃，升温速率为3-6℃/min，在520℃的温度下保持60-100min；
步骤六：将退火炉中的温度由520℃降至470℃，降温速率为3-6℃/min，在350℃的温度下保持60-100min；
步骤七：将退火炉中的温度由470℃降至370℃，降温速率为3-8℃/min，在350℃的温度下保持30-60min；
步骤八：将退火炉中的温度由370℃降至300℃，降温速率为3-8℃/min，在350℃的温度下保持30-60min；
步骤九：将退火炉中的温度由300℃降至室温，采用自然降温的方式。
2.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤二中，升温速率为8℃/min，保温时间为20min。
3.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤三中，升温速率为7℃/min，保温时间为40min。
4.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤四中，升温速率为6℃/min，保温时间为40min。
5.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤五中，升温速率为4℃/min，保温时间为70min。
6.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤六中，降温速率为4℃/min，保温时间为70min。
7.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤七中，降温速率为6℃/min，保温时间为40min。
8.根据权利要求1所述的一种降低玻璃-金属封接结构应力的低温退火工艺，其特征在于，在步骤八中，降温速率为8℃/min，保温时间为40min。
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