[发明专利]一种聚酰亚胺型配向膜返工液在审
申请号: | 201911378599.1 | 申请日: | 2019-12-27 |
公开(公告)号: | CN113050329A | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
发明(设计)人: | 鄢艳华;康威;赵大成;夏明鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳新宙邦科技股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 姚章国 |
地址: | 518118 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 聚酰亚胺 返工 | ||
为克服现有技术中PI型配向膜中TMAH体系对PI残留的处理不足,对Cu、PS以及ITO的强腐蚀性,使用寿命较短的问题,本发明提供了一种聚酰亚胺型配向膜返工液,包括有机胺、溶剂和添加剂,有机胺选择2‑二甲胺基‑2‑甲基丙醇、二乙氨基乙醇、2‑氨基‑2‑甲基‑丙醇、1‑氨基‑2‑丙醇、3‑二乙氨基丙胺、三异丙醇胺和二乙烯三胺中的一种或多种。本发明提供的聚酰亚胺型配向膜返工液,对PI型配向膜的PI残留脱落处理的效果优异,对Cu、PS以及ITO的腐蚀性低,而且毒性较低,危害性较小,使用寿命更长。
技术领域
本发明属于TFT-LCD镀膜返工领域,具体涉及一种聚酰亚胺型配向膜返工液。
背景技术
作为薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD,thinfilm transistor liquid crystaldisplay)中实现液晶配向的关键材料和结构,配向膜的良品率是CELL制程乃至整个液晶显示器(LCD,liquid crystal display)产线中重要的一个参数。若配向膜品质不合格,比如配向膜厚度不均匀和固烤不合格等,会直接导致整个面板报废。由于配向膜前端制程结构均合格,直接报废面板会造成较大的浪费,导致生产成本增大。
为了降低成本,部分厂商提出将配向膜品质不合格的薄膜场效应晶体管(TFT,thin film transistor)玻璃或者彩色滤光片(CF,color filter)玻璃通过聚酰亚胺配向膜返工(PI Rework)液进行返工处理,将制作不合格的配向膜去除,重新投入到CELL制程中的配向膜制作过程,以保留前段制程,从而节约生产成本。
目前,PIRework液使用较多的是四甲基氢氧化铵(TMAH,tetramethylammoniumhydroxide)体系。TMAH为碱性非常强的有机碱,因其金属离子含量低,可以降到ppb(partper billion)级,在电子领域有着较为广泛的应用。该体系PI Rework液对配向膜的返工效果较好,但TMAH与PI型配向膜生产工艺中用到的N-甲基吡咯烷酮(NMP,N-Methylpyrrolidone)相互作用产生析出问题,对Cu衬底、聚苯乙烯(PS,polystyrene)以及纳米铟锡金属氧化物(ITO,indium tin oxides)的腐蚀性较强。且由于TMAH较强的吸湿性,很容易造成药液失效、存在使用寿命较短的问题。另外TMAH毒性较强,在韩国以及日本等地均有因为TMAH溅射造成中毒死亡的案例,而且TMAH价格比较昂贵。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中PI型配向膜中TMAH体系对PI残留的处理不足,对Cu、PS以及ITO的强腐蚀性,使用寿命较短的问题,提供一种聚酰亚胺型配向膜返工液。
本发明解决上述问题所采用的技术方案如下:
本发明提供了一种聚酰亚胺型配向膜返工液,包括以下组分:
有机胺、溶剂以及添加剂,有机胺包括2-二甲胺基-2-甲基丙醇、二乙氨基乙醇、2-氨基-2-甲基-丙醇、1-氨基-2-丙醇、3-二乙氨基丙胺、三异丙醇胺和二乙烯三胺中的一种或多种。
可选的,以所述聚酰亚胺型配向膜返工液的总重量为100%计,有机胺的含量为5%~30%。更优选的,有机胺的含量为8%~20%。
可选的,添加剂包括葡萄糖酸及其钾或钠盐、乙醇胺磷酸酯、2-巯基苯并噻唑、甲基苯并三氮唑、苯并三氮唑和聚乙二醇PEG400~PEG2000中的一种或多种。
可选的,以聚酰亚胺型配向膜返工液的总重量为100%计,添加剂的含量为0.1%~1%。
可选的,以所述聚酰亚胺型配向膜返工液的总重量为100%计,溶剂的含量为69%~94.9%。
可选的,溶剂包括水以及能与水互溶的有机溶剂,以所述聚酰亚胺型配向膜返工液的总重量为100%计,有机溶剂的含量为10%~40%,所述水的含量为29%~84.9%。
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