[发明专利]玻璃基板有效
| 申请号： | 201911376336.7 | 申请日： | 2015-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111018364B | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 常友启司;桥爪秀树;大川和哉 | 申请（专利权）人： | 日本板硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/32 | 分类号： | C03C17/32;C03C15/00;C03C23/00;C03C3/095;C03C3/087;H05K3/42;H05K3/06;H05K3/00;H05K1/03;H01L23/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴克鹏 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 | ||
1.一种玻璃基板，其为具有贯通孔的玻璃基板，其具备：
在波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1下的光透射率为1％以下的板状的玻璃；和
形成于所述板状的玻璃的一个主面上、且对所述波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ1的光具有感光性的树脂层，
所述板状的玻璃具有成为所述贯通孔的一部分的第一贯通孔，
所述树脂层具有成为所述贯通孔的另一部分且从所述第一贯通孔向所述树脂层的厚度方向延伸的第二贯通孔，
成为与所述第一贯通孔的边界的表面上不存在树脂，
所述板状的玻璃的与所述树脂层相反一侧为所述光的入射侧，并且所述板状的玻璃能够保护所述树脂层免受所述光导致的感光。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板，其还具备在所述贯通孔的内部形成的贯穿电极。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板，其还具备第一导电部，所述第一导电部形成在所述板状的玻璃的与所述树脂层相反侧的主面上、且与所述贯穿电极电连接。
4.根据权利要求2所述的玻璃基板，其还具备第二导电部，所述第二导电部形成在所述树脂层上、且与所述贯穿电极电连接。
5.根据权利要求3所述的玻璃基板，其还具备第二导电部，所述第二导电部形成在所述树脂层上、且与所述贯穿电极电连接。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃基板，其还具备在所述板状的玻璃的形成有所述树脂层的主面侧且偏离所述贯通孔规定距离的位置处形成的光学元件。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃基板，其中，在所述板状的玻璃中，波长250nm～535nm的范围内的规定的波长λ2下的光的吸收系数为50cm－1以下。
8.根据权利要求1～5中任一项所述的玻璃基板，其中，所述树脂层包含作为正型光致抗蚀剂的树脂组合物。
9.根据权利要求2～5中任一项所述的玻璃基板，其中，所述贯穿电极包含铜。
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