[发明专利]一种光学相干层析扫描装置

权利要求书

1.一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：包括：扫频激光光源、第一光纤耦合器、光学延迟线、环形器、准直透镜、液体透镜、扫描振镜、扫描透镜、第二光纤耦合器、平衡探测器和计算机；所述扫频激光光源通过光纤与第一光纤耦合器的第一接口连接，所述第一光纤耦合器的第二接口通过光纤与光学延迟线的输入端连接，所述光学延迟线的输出端通过光纤与第二光纤耦合器的第一接口连接，所述第一光纤耦合器的第三接口通过光纤与环形器的输出端连接，所述环形器的第一输出端通过光纤与第二光纤耦合器的第二接口连接，所述第二光纤耦合器的第三接口通过光纤与平衡探测器的正输入端连接，所述第二光纤耦合器的第四接口通过光纤与平衡探测器的负输入端连接，所述平衡探测器的输出端与计算机连接，所述环形器的第二输出端通过光纤与准直透镜连接，所述环形器的第二输出端的出射光依次通过准直透镜和液体透镜，所述准直透镜和液体透镜共光轴设置，所述液体透镜的出射光通过扫描振镜传输到扫描透镜，所述扫描透镜对所述出射光进行聚焦并打到被测样品中。

2.根据权利要求1所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：还包括聚焦透镜、光电转换器和预览装置，所述光电转换器与计算机连接，所述聚焦透镜用于聚焦被测样品的散射光并作用在光电转换器中，所述预览装置与计算机连接。

3.根据权利要求2所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述光电转换器为CCD相机。

4.根据权利要求2所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述光电转换器为CMOS相机。

5.根据权利要求1所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述液体透镜的光谱范围为850nm至1400nm，通光口径为16mm，调焦范围为-500mm至+333mm。

6.根据权利要求1所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述扫频激光光源的中心波长为1040nm至1080nm，可调谐范围为80nm至120nm，激光平均输出功率为20mW至40mW，有效占空比为50％至70％。

7.根据权利要求1所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述扫描振镜的镜片是一组镀有宽带介质膜的二色镜，其镀膜包括对波长980nm至1200nm的全反膜和对波长380nm至780nm的增透膜。

8.根据权利要求1所述的一种光学相干层析扫描装置，其特征在于：所述扫描透镜的入瞳为6mm，单轴最大扫描范围为±14°，最大视场为20×20cm²。