[发明专利]一种应用于太阳能硅片的清洗架在审

专利信息
申请号: 201911372110.X 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN111136050A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 程林 申请(专利权)人: 合肥敬卫新能源有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B13/00;H01L31/18
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 苏友娟
地址: 230000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 应用于 太阳能 硅片 清洗
【说明书】:

发明公开了一种应用于太阳能硅片的清洗架,包括工作平台、位于工作平台的清洗组件、设置在工作平台内部的固定架;所述工作平台包括喷枪杆、喷洒区域;所述喷枪杆设置在工作平台表面,所述喷洒区域位于喷枪杆一侧,所述清洗组件包括水箱、喷枪;所述水箱位于工作平台表面且与喷枪杆处于同一水平线上,所述喷枪位于喷枪杆顶端,喷枪底端通过水管与水箱固定连接,所述工作平台内部设置有清洗屉,所述固定架包括固定卡扣、卡环、清洗网;所述清洗网设置在清洗屉内部,清洗网两端通过清洗网两侧设置的固定杆与清洗屉连接,所述固定卡扣位于清洗网一侧,所述卡环设置在清洗网另一侧对应固定卡扣的位置处,卡环与固定卡扣活动连接。

技术领域

本发明涉及硅片清洗装置技术领域,尤指一种应用于太阳能硅片的清洗架。

背景技术

随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量要求也越来越高,特别是对硅片的表面质量要求越来越严。这主要是因为硅片抛光面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中,硅片清洗不彻底,可能使全部硅片报废,或者制造出来的器件性能低劣,稳定性和可靠性很差。而对于现有的清洗架来说,由于设计不合理,清洗架对于太阳能硅片的固定效果较差,且硅片清理不彻底,容易对太阳能硅片的使用产生波及,造成太阳能硅片资源的浪费和损坏,从而危及环境,造成污染,因此,我们要设计出一种方便固定太阳能硅片的清洗架,使得硅片在清洗架内方便固定的同时提高硅片的清洗程度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是传统的硅片清洗架的固定硅片效果较差,硅片清洁程度较低,影响硅片的使用,现提供一种应用于太阳能硅片的清洗架。

为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:一种应用于太阳能硅片的清洗架,包括工作平台、位于工作平台的清洗组件、设置在工作平台内部的固定架;所述工作平台包括喷枪杆、喷洒区域;所述喷枪杆设置在工作平台表面,所述喷洒区域位于喷枪杆一侧,喷洒区域由若干喷洒通孔组成,所述清洗组件包括水箱、喷枪;所述水箱位于工作平台表面且与喷枪杆处于同一水平线上,所述喷枪位于喷枪杆顶端,喷枪与工作平台表面的喷洒区域处于同一垂直线上,喷枪底端通过水管与水箱固定连接,所述工作平台内部设置有清洗屉,所述固定架包括固定卡扣、卡环、清洗网;所述清洗网设置在清洗屉内部,清洗网两端通过清洗网两侧设置的固定杆与清洗屉连接,清洗网两端与固定杆活动连接,且清洗网与正上方喷洒区域相对应,所述固定卡扣位于清洗网一侧,所述卡环设置在清洗网另一侧对应固定卡扣的位置处,卡环与固定卡扣活动连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述工作平台底部设置有三个支撑柱,工作平台通过支撑柱与底面连接,且支撑柱之间呈三角连接结构,提高了工作平台的稳定性,增强太阳能硅片的清洗效率。

作为本发明的一种优选技术方案,所述水箱安装在工作平台表面的凹槽内,水箱与凹槽大小相匹配,且在凹槽内设置有一层防滑垫,所述防滑垫表面设有若干凸起的颗粒,防滑垫提高水箱放置在凹槽内的稳定性。

作为本发明的一种优选技术方案,所述喷枪包括过滤器、喷头;所述过滤器设置在喷枪顶端,过滤器安装在水管与喷枪连接的位置处,且过滤器与过滤器一侧设置的过滤开关电性连接,所述喷头固定安装在喷枪上,所述喷头表面设置有若干出水孔,所述出水孔与喷头外侧的喷淋开关电性连接,通过过滤开关启动过滤器运作,喷淋开关启动喷头,提高该清洗架的清洗效率和自动化程度。

作为本发明的一种优选技术方案,所述清洗屉包括滑块、滑槽;所述滑块位于清洗屉底端两侧,所述滑槽位于工作平台内壁对应滑块的位置处,所述清洗屉穿过工作平台一侧的通口,且清洗屉表面设置有拉手,清洗屉的设置可以将清洗过硅片后的水积累在清洗屉中,方便倒出清洗架。

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