[发明专利]一种在线检测LD侧泵模块的装置及方法有效

专利信息
申请号: 201911344580.5 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN110954306B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 李旭东;闫仁鹏;陈兆东;刘志祥;王准;王建喜;丁明伟;朱正才;樊荣伟;董志伟;陈德应;廖承林 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学;深圳市航天泰瑞捷电子有限公司;深圳航天工业技术研究院有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 北京睿驰通程知识产权代理事务所(普通合伙) 11604 代理人: 唐华;张文平
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要:
搜索关键词: 一种 在线 检测 ld 模块 装置 方法
【说明书】:

发明公开了一种在线检测LD侧泵模块的装置与方法,所述检测装置可置于待测模块的一侧,沿LD侧泵模块通光方向分别设置有平面镜、可变焦镜组、工业相机和计算机。本发明利用上述的检测装置通过对待测LD侧泵模块中激光晶体内的辐射荧光成像来判断LD侧泵模块中LD巴条的运行情况,可实现任意LD侧泵模块的在线检测,尤其是对集成在激光器系统中的LD侧泵模块进行无拆除检测,从而不会破坏激光器系统的谐振腔。本发明具有检测快速,故障定位准确的优点,可大大提高LD侧泵模块的故障检测效率,节省激光器系统的维护时间,可应用于LD侧泵模块质量检测及激光器系统检测等领域。

技术领域

本发明属于激光技术领域,涉及一种在线检测LD侧泵模块的装置及方法。

背景技术

LD侧面泵浦的激光模块由于集成功率高、结构紧凑、小型模块化设计等优点,在中等功率或者大功率的激光器系统中得到广泛应用。在激光器系统的维修中,谐振腔和LD侧泵模块是最容易出问题的故障点,然而维修人员在不拆除LD侧泵模块的情况下通常难以快速判断故障点,给激光器维修带来一定困难。目前对LD侧泵模块检测主要有两种手段,二是将利用待测的LD侧泵模块搭建激光谐振腔,测试谐振腔输出功率并与出厂测试进行比较来判断模块是否有损坏或者功率衰减,此种方法需要将模块从调试好的激光器系统中拆除,而且一旦发现问题仍无法判断是哪一维度方向的LD巴条有故障;二是拆解LD侧泵模块,进行内部LD巴条外观检查,观察是否有烧毁等明显故障。上述两种方法均需将LD侧泵模块从激光器系统中拆除,无法在线快速检测LD模块故障,无法准确定位故障LD巴条。本发明提出一种在线检测LD侧泵模块的装置及方法,可对集成在激光器系统中的LD侧泵模块进行无拆除快速在线检测,且能判断是哪一维度方向的LD巴条出现故障,给激光器系统的维修和维护带来极大便利。

发明内容

针对目前LD侧泵模块检测手段单一,且无法实现快速在线检测、准确定位故障LD巴条位置的现状,本发明提供了一种在线检测LD侧泵模块的装置及方法,具体如下:

根据本发明的实施方式,第一方面,本发明提供一种在线检测LD侧泵模块的装置,包括:激光器系统和检测装置,其中,所述激光器系统包括LD侧泵模块;所述检测装置沿光路方向依次包括平面镜、可变焦镜组、工业相机和计算机,所述检测装置用于对所述LD侧泵模块进行快速检测,准确定位受损的LD巴条。

可选的,所述平面镜根据检测环境与所述LD侧泵模块的通光方向垂直放置时,其中靠近所述LD侧泵模块的一面镀对LD泵浦光的0°高反膜和对激光晶体辐射荧光的0°增透膜,另一面镀对激光晶体辐射荧光的0°增透膜。

可选的,所述平面镜根据检测环境与所述LD侧泵模块的通光方向成45°角放置时,其中靠近所述LD侧泵模块的一面镀对LD泵浦光的45°增透膜和对激光晶体辐射荧光的45°高反膜,而另一面无须镀膜。

可选的,所述可变焦镜组的焦距应当根据所述工业相机中CCD或CMOS光敏面尺寸,使得采集到的荧光在所述光敏面上覆盖足够多的像素点;所述可变焦镜组中的所有透镜两面,均需镀对激光晶体辐射荧光的0°增透膜。

可选的,在所述可变焦镜组和工业相机之间还包括可变光阑,调整所述可变光阑的通光孔径使所述LD侧泵模块中的激光晶体端面能在所述工业相机上清晰成像且图像不饱和。

可选的,所述LD侧泵模块的泵浦方式为脉冲泵浦,所述工业相机的采样频率应为LD侧泵模块泵浦频率的整数倍,且积分时间应为采样频率的倒数。

根据本发明的实施方式,第二方面,本发明提供一种利用如上所述装置实现在线检测LD侧泵模块的方法,所述方法由以下步骤实现:

步骤一、根据所述平面镜与所述LD侧泵模块通光方向的关系,依次设置所述LD侧泵模块、平面镜、可变焦镜组、工业相机和计算机,开启所述激光器系统和检测装置,使所述LD侧泵模块中激光晶体辐射出荧光;

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