[发明专利]转印方法及功能器件有效

专利信息
申请号: 201911344041.1 申请日: 2019-12-24
公开(公告)号: CN111002735B 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 冯雪;张柏诚;刘兰兰;付浩然;蒋晔 申请(专利权)人: 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
主分类号: B41M5/382 分类号: B41M5/382
代理公司: 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 代理人: 王婷婷
地址: 314006 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 方法 功能 器件
【说明书】:

发明提供一种转印方法,包括提供液态金属,使液态金属在第一基底上形成预制图形层;提供功能材料,使功能材料在预制图形层的表面形成图形层;提供第二基底,并使第二基底粘贴至图形层上,再从第二基底分离第一基底,使图形层转印至第二基底上,得到预制体;提供侵蚀液,使侵蚀液去除预制体上残留的预制图形层,得到转印有图形层的第二基底。还提供一种由该转印方法制得的功能器件。本发明通过液态金属这种低粘度物质作为转印媒介,使转印结构不受表面材料的粘度或表面结合力的限制,从而能够在两个表面之间快速而完整地进行转印。

技术领域

本发明涉及转印技术领域,特别是涉及一种转印方法及功能器件。

背景技术

转印技术是实现图形层从一个基材转移至另一个基材的关键技术,传统的转印技术包括:基于率相关的转印、基于微结构的转印、基于载荷调控的转印、激光驱动转印以及基于形状记忆聚合物的转印等。但是,这些传统的转印技术对两个基材的界面与图形层之间的粘附系数要求较高,图形层容易在转印过程中被破坏因而不能快速完整地从转印基材的界面上进行剥离。

发明内容

鉴于此,本发明所要解决的技术问题是针对上述现有技术现状提供一种能够快速且完整地对图形层进行转印的转印方法及功能器件。

为了实现上述目的,根据本发明的一个方面,提供一种转印方法,所述转印方法包括以下步骤:

提供液态金属,使所述液态金属在第一基底上形成预制图形层,其中,所述预制图形层包括所述液态金属以及所述液态金属的氧化物;

提供功能材料,使所述功能材料在所述预制图形层的表面形成图形层;

提供第二基底,并使所述第二基底粘贴至所述图形层,再从所述第二基底分离所述第一基底,使所述图形层转印至所述第二基底上,得到预制体;

提供侵蚀液,使所述侵蚀液去除所述预制体上残留的所述预制图形层,得到转印有所述图形层的所述第二基底。

在其中一个实施例中,所述预制图形层中的所述液态金属的氧化物包覆于所述液态金属外;或者,

所述预制图形层中的所述液态金属的氧化物分散于所述液态金属内。

在其中一个实施例中,使所述液态金属在所述第一基底上形成所述预制图形层的步骤包括:使所述液态金属置于氧气环境中搅拌30s~1h,然后将所述液态金属绘制于所述第一基底上;或者,

使所述液态金属绘制于所述第一基底上,然后使所述液态金属置于氧气环境中30s~1h。

在其中一个实施例中,所述预制图形层中,所述液态金属的氧化物与所述液态金属的质量比为1:(50~1000)。

在其中一个实施例中,所述图形层的厚度小于所述预制图形层的厚度;及/或,

所述图形层的厚度为10nm~1mm。

在其中一个实施例中,所述功能材料包括金颗粒、银颗粒、铂颗粒、氧化钛、氧化钽、氧化锰、氧化钨、石墨烯、碳纳米管中的至少一种;及/或,所述液态金属包括镓、镓铟合金、镓铟锡合金、镓锌合金中的至少一种。

在其中一个实施例中,所述第二基底与所述第一基底分体设置;或者,

所述第二基底与所述第一基底一体成型设置。

在其中一个实施例中,所述第二基底的材料包括聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、氧化硅、氧化铝、氧化锌、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锆、镁合金、钛合金中的至少一种。

在其中一个实施例中,所述侵蚀液的pH值大于等于4.0小于7.0。

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