[发明专利]转印方法及功能器件有效
申请号: | 201911344041.1 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN111002735B | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
发明(设计)人: | 冯雪;张柏诚;刘兰兰;付浩然;蒋晔 | 申请(专利权)人: | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
主分类号: | B41M5/382 | 分类号: | B41M5/382 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 王婷婷 |
地址: | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 方法 功能 器件 | ||
1.一种转印方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供液态金属,使所述液态金属在第一基底上形成预制图形层,其中,所述预制图形层包括所述液态金属以及所述液态金属的氧化物,所述液态金属的氧化物包覆于所述液态金属外或者所述液态金属的氧化物分散于所述液态金属内;其中,所述液态金属的氧化物与所述液态金属的质量比为1:(50~1000),所述液态金属包括镓、镓铟合金、镓铟锡合金、镓锌合金中的至少一种;
提供功能材料,使所述功能材料在所述预制图形层的表面形成图形层,所述功能材料包括金颗粒、银颗粒、铂颗粒、氧化钛、氧化钽、氧化锰、氧化钨、石墨烯、碳纳米管中的至少一种;
提供第二基底,并使所述第二基底粘贴至所述图形层,再从所述第二基底分离所述第一基底,所述预制图形层断裂,使所述图形层转印至所述第二基底上,得到预制体;其中,所述第一基底的材质和所述第二基底的材质相同,所述第二基底的材料包括聚酰亚胺、聚二甲基硅氧烷、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚甲基丙烯酸甲酯、氧化硅、氧化铝、氧化锌、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锆、镁合金、钛合金中的至少一种;
提供侵蚀液,使所述侵蚀液去除所述预制体上残留的所述预制图形层,得到转印有所述图形层的所述第二基底。
2.根据权利要求1所述的转印方法,其特征在于,使所述液态金属在所述第一基底上形成所述预制图形层的步骤包括:使所述液态金属置于氧气环境中搅拌30s~1h,然后将所述液态金属绘制于所述第一基底上;或者,
使所述液态金属绘制于所述第一基底上,然后使所述液态金属置于氧气环境中30s~1h。
3.根据权利要求1所述的转印方法,其特征在于,所述图形层的厚度小于所述预制图形层的厚度;及/或,
所述图形层的厚度为10nm~1mm。
4.根据权利要求1所述的转印方法,其特征在于,所述第二基底与所述第一基底分体设置;或者,
所述第二基底与所述第一基底一体成型设置。
5.根据权利要求1所述的转印方法,其特征在于,所述侵蚀液的pH值大于等于4.0小于7.0。
6.根据权利要求1所述的转印方法,其特征在于,所述转印方法还包括:使所述侵蚀液去除所述预制体上残留的所述预制图形层后,提供清洗剂,并对所述预制体进行清洗。
7.一种功能器件,其特征在于,所述功能器件包括第二基底以及形成于所述第二基底上的所述图形层,所述图形层由权利要求1~6任一项所述的转印方法制备得到,且所述图形层的材料为所述功能材料。
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