[发明专利]成像装置和成像系统

说明书

公开了成像装置和成像系统。成像装置包括：像素区域，该像素区域包括多个像素；以及偏置布线，该偏置布线被放置在像素的光入射侧以经由限定像素区域的第二边将来自电源的偏置供应到像素区域中的像素。偏置布线包括放置在像素周围的第一布线部分和第二布线部分。第一布线部分放置在远离第二边的Y方向上，并且第二布线部分放置在与Y方向正交的X方向上。第一布线部分包括不透光构件。每一像素的第一布线部分的电阻小于每一像素的第二布线部分的电阻。由于第二布线部分而引起的光损失小于由于第一布线部分而引起的光入射的光损失。

技术领域

本公开涉及成像装置和成像系统。特别地，本公开合适地可适用于捕获对象的放射线图像的放射线成像装置和放射线成像系统。

背景技术

使用诸如X射线之类的放射线用于医疗图像诊断和无损检查的成像装置使用传感器基板，该传感器基板是在其上以二维矩阵布置用于检测放射线的像素的玻璃或其它支撑基板。例如，间接转换传感器基板包括像素以及各种类型的布线，该像素包括在玻璃或其它支撑基板上的由非晶硅(a-Si)制成的光电转换元件和由薄膜晶体管(TFT)组成的开关元件。这样的传感器基板与将入射放射线转换成光的闪烁器(荧光体)组合使用。布线的示例包括用于控制开关元件的控制布线、用于将电信号从光电转换元件中取出的信号布线以及用于使光电转换元件执行光电转换的偏置电压供应到像素区域的内部的偏置布线。例如，日本专利申请公开No.2014-75377的图1示出了传感器基板，在该传感器基板上偏置布线以网格形状垂直地和横向地放置在像素周围。

为了使布线电阻最小化，偏置布线通常由不透射光的金属层而不是透射光的透明导电层制成。在这种情况下，从闪烁器发出的光的一部分被偏置布线阻挡并且剩下的光入射在光电转换元件上。

如果具有高强度的放射线入射到传感器基板的一部分上，即，放射线的量在传感器基板的有效像素区域内变得不均匀，那么可能发生串扰。其中，与以横向方向放置的控制线平行发生的串扰(横向串扰)是麻烦的，特别是在移动图像传感器的高速驱动期间。由于根据从电源供应的偏置电压中的瞬时局部变化发生横向串扰，所以一个有效的措施是降低传感器基板内的偏置布线的电阻以减少前述偏置电压中的变化。

在日本专利申请公开No.2014-75377中讨论的传感器基板中，可以增大偏置布线的线宽以降低偏置布线的电阻。然而，如从光的入射方向看到的，这增大了在偏置布线和像素之间的重叠的面积，使得开口率下降。

换句话说，常规技术难以在维持高开口率的同时实现低串扰。

发明内容

本公开针对成像装置，该成像装置在维持高开口率的同时实现低串扰。

根据本公开的一个方面，像素区域包括以二维矩阵布置的多个像素以及偏置布线，每个像素包括光电转换元件和电连接到光电转换元件的电极中的一个电极的开关元件，偏置布线放置在光电转换元件的光入射侧以从限定像素区域的一边将来自电源的偏置供应到像素区域中的每个像素，偏置布线在远离该一边的第一方向上和与第一方向正交的第二方向上放置在像素周围，偏置布线电连接到光电转换元件的另一个电极，其中，偏置布线包括放置在第一方向上的第一布线部分和放置在第二方向上的第二布线部分，并且其中，基于第一布线部分和第二布线部分的像素的开口率是85％或更大，并且在第二方向上的平均串扰的绝对值是0.39％或更小。