[发明专利]微电机系统多层压电致动器的制备方法

权利要求书

1.一种微电机系统多层压电致动器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1）一次磨料：将以下重量份的原料粉体Pb₃O₄ 203.91、ZrO₂ 48.04、TiO₂ 32.41、Sb₂O₃1.013、Nb₂O₅ 11.236、NiO 2.33、Bi₂O₃ 1.5、MgO 0.44、Li₂CO₃ 0.621混合，然后再与无水乙醇、锆球按2:1:1的重量比混合、球磨4h，烘干、过40目过筛，得生瓷粉；

2）预烧：将所述生瓷粉在1000℃下烧结2h，冷却后过40目筛，得瓷粉；

3）二次磨料：将所述瓷粉与无水乙醇、锆球按2:1:1的重量比混合、球磨4h，然后烘干、过40目筛；

4）制备浆料：将经过球磨的瓷粉与丁酮溶液按3:1的重量比混合、球磨12h，然后再与粘接剂、增塑剂按300:20:1的重量比混合、继续球磨12h，得浆料；所述丁酮溶液由丁酮与去离子水按3:7的重量比配制而成，所述粘接剂为基乙烯醇缩丁醛、所述增塑剂为邻苯二甲酸二丁酯；

5）流延制膜：去除所述浆料内部的气泡，调节浆料黏度至60CPS，然后按8-15㎜/s的速度流延成100μm厚的膜片；

6）印刷内电极：在所述膜片表面划分出若干矩形区域，在各矩形区域内印刷内电极浆料而形成内电极，保证相邻矩形区域内的内电极错位分布；

7）裁切叠压：按所述矩形区域将膜片裁切成压电陶瓷生片，将多块所述压电陶瓷生片按“叉指法”的形式叠摞至3㎜厚，然后压制成型，得多层压电陶瓷生坯，压力为50Mpa；

8）烧结：将所述压电陶瓷生坯置于烧结炉中，先升温至120℃、保温5h，然后升温至600℃、排胶2h，最后再升温至960℃、保温4h，随炉冷却至室温，得多层压电陶瓷；

9）印刷外电极：在所述多层压电陶瓷的两端面印刷外电极浆料，烘干；

10）极化：将经过烘干的多层压电陶瓷置于60℃的极化装置中进行极化处理，极化电压为3kV。