[发明专利]一种晶棒取出防护组件、晶棒取出装置及晶棒取出方法

权利要求书

1.一种晶棒取出防护组件，用于在晶棒随牵引室转移取出过程中保护晶棒，所述牵引室内部设有容纳晶棒的腔室，所述牵引室的底部设有开口；其特征在于，所述晶棒取出防护组件包括：

保护模块，包括保护支架、两个旋转轴及第一动力部件，所述保护支架包括平行设置的两个旋转臂、以及连接在两个所述旋转臂之间的托板，两个所述旋转轴分别设置在所述牵引室的外壁上的相对两侧，每一所述旋转臂对应枢接于一个所述旋转轴，且所述旋转臂能够绕对应的所述旋转轴旋转，以带动所述托板在第一状态和第二状态之间切换，在所述第一状态，所述托板位于所述牵引室的开口下方，以承托自所述开口伸出的晶棒；在所述第二状态，所述托板移动至避让开所述牵引室的开口的位置；所述第一动力部件与两个所述旋转轴中的至少一个旋转轴连接，以驱动所述两个旋转轴中至少一个旋转轴旋转；

升降模块，所述保护模块通过所述升降模块连接在所述牵引室的外壁上，且所述升降模块能够驱动所述保护模块在第一方向上进行升降运动，所述第一方向为所述牵引室内的晶棒的长度方向；

以及，侧面防护模块，包括：两个移动杆，每一所述旋转臂上连接一个所述移动杆，且两个所述移动杆一端连接在所述旋转臂上，另一端相向设置，并能够在与所述托板平行的方向上进行相向或相反运动；防护元件，设置在两个所述移动杆的相向设置的一端；及用于驱动所述移动杆往复移动的第三动力部件，所述第三动力部件与所述移动杆连接；所述升降模块包括：

直线导轨，所述直线导轨沿所述第一方向延伸；

以及，第二动力部件，驱动所述保护模块沿所述直线导轨在所述第一方向上往复运动；

所述托板上设有用于对晶棒进行定位的定位元件；

所述托板上设有用于对晶棒进行缓冲保护的柔性缓冲元件；

所述定位元件包括：开设于所述托板上的定位孔；

所述柔性缓冲元件包括：设置在所述定位孔内的环形弹性缓冲垫；

所述柔性缓冲元件采用柔性可压缩材料制成；

在所述定位元件上还设有传感器，所述传感器用于当所述柔性缓冲元件达到预定压缩量时，生成感应信号；所述晶棒取出防护组件还包括控制器，所述控制器用于根据所述感应信号，控制所述第二动力部件的工作状态。

2.根据权利要求1所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，

所述柔性缓冲元件的最大压缩量X≥7mm。

3.根据权利要求1所述的晶棒取出防护组件，其特征在于，

所述传感器的数量为至少四个，至少四个所述传感器环绕所述定位元件四周设置。

4.一种晶棒取出装置，其特征在于，包括牵引室，所述牵引室上设有如权利要求1至3任一项所述的晶棒取出防护组件。

5.一种晶棒转移取出方法，其特征在于，采用如权利要求4所述的晶棒取出装置将拉制完成的晶棒从晶体生长炉转移取出，所述牵引室顶部还设有籽晶提拉机构；所述方法包括以下步骤：

控制所述第一动力部件，使所述托板处于所述第二状态，以避让开所述牵引室底部的开口；

通过所述籽晶提拉机构，将所述晶体生长炉内拉制完成的晶棒自所述开口提拉至所述牵引室的腔室内；

向上提升所述牵引室，直至所述牵引室与所述晶体生长炉脱离，并与所述晶体生长炉之间具有预设距离；

控制所述第一动力部件，使得所述托板处于所述第一状态；

控制所述籽晶提拉机构向下释放所述晶棒，以使得晶棒在所述牵引室内第一次下降，直至所述晶棒的底部自所述牵引室的开口伸出，并由所述托板承托；

控制所述第三动力部件，使得两个所述移动杆相向运动，以夹紧所述晶棒；

转移所述牵引室至所述晶体生长炉的一侧；

控制所述升降模块，使得所述保护模块在所述第一方向上、向靠近所述牵引室底部一侧下降，同时控制所述籽晶提拉机构向下释放所述晶棒，以使得晶棒在所述牵引室内第二次下降，直至所述晶棒完全从所述牵引室的开口露出。