[发明专利]蒸发组件和方法

权利要求书

1.蒸发组件，该蒸发组件具有：

多件式的壳体，其中，该壳体(102)具有壳体槽(102w)和能从这个壳体槽上取下的壳体盖(102d)；

坩埚(104)，该坩埚用于将容纳在该坩埚(104)中的蒸发物质从所述壳体(102)中热蒸发，其中，该坩埚(104)具有耐高温材料，和

坩埚保持结构(108)，该坩埚保持结构将坩埚(104)保持在壳体槽(102w)内并且与该壳体槽保持空间分离，

其中，所述壳体盖(102d)具有蒸汽流出口(102o)，穿过该蒸汽流出口提供从壳体(102)中的热蒸发

用于将蒸汽流出口(102o)封闭的盖封闭件(112)；

其中，所述盖封闭件(112)和壳体盖(102d)具有彼此交错的断面结构，当所述盖封闭件(112)放置在所述壳体盖(102d)上时，这些断面结构组合后提供迷宫式密封，

所述蒸发组件还具有：

转移设备(502)，该转移设备设置为，使盖封闭件(112)在两个位置之间运动，在这两个位置中，壳体盖(102d)与盖封闭件(112)在该盖封闭件(112)的第一位置中相互组合并且在该盖封闭件(112)的第二位置中分开；

第一辐射保护罩，该第一辐射保护罩在组合的壳体(102)中设置在壳体盖(102d)与坩埚(104)之间；和/或

多个第二辐射保护罩，这些第二辐射保护罩设置在壳体槽(102w)与坩埚之间；

气体供应结构(110)，该气体供应结构具有一个或一个以上设置在组合的壳体(102)中的排气口；

其中，所述壳体槽(102w)和/或壳体盖(102d)具有流体冷却机构。

2.根据权利要求1所述的蒸发组件，其特征在于，所述蒸发组件具有一个或一个以上电子束枪(122)，该电子束枪设置用于穿过所述蒸汽流出口(102o)对坩埚(104)和/或设置在该坩埚中的蒸发物质进行辐射。

3.真空组件，该真空组件具有：

真空室；和

根据权利要求1或2所述的蒸发组件，该蒸发组件设置在所述真空室中。

4.用于运行根据权利要求1或2所述的蒸发组件的方法，该方法包括：

使蒸发物质从坩埚(104)中蒸发(1101)，其中，坩埚(104)设置在壳体内；

将蒸发的蒸发物质从壳体的蒸汽流出口(102o)发射(1103)到真空中；

通过将蒸汽流出口遮盖来将所述壳体封闭或至少遮盖；和

对设置在封闭的壳体中的坩埚进行冷却。

5.用于运行根据权利要求1或2所述的蒸发组件的方法，其包括：

使蒸发物质从坩埚(104)中蒸发(1101)并进入到真空中；

将坩埚(104)包裹(1209)到气垫中，该气垫将坩埚(104)与包围这个坩埚(104)的真空分离；

将包裹在所述气垫中的坩埚从真空中取出来。