[发明专利]双管芯器件测试电路、方法及系统

权利要求书

1.一种双管芯器件的测试电路，其特征在于，包括：

待测器件，包括第一管芯和第二管芯；

电压源，包括第一浮动电压源和第二浮动电压源，其中所述第一浮动电压源包括第一驱动电压输出端、第一感应电压输出端和第一公共电压输出端，所述第二浮动电压源包括第二驱动电压输出端、第二感应电压输出端和第二公共电压输出端；以及

开关电路，包括多个开关管，每一所述输出端与所述开关管一一对应电连接，所述第一驱动电压输出端通过所述开关管可与所述第一管芯的栅极电连接，所述第一感应电压输出端通过所述开关管可与所述第一管芯的源极以及所述第二公共电压输出端分别电连接，所述第二驱动电压输出端通过所述开关管可与所述第二管芯的栅极电连接，所述第二感应电压输出端通过所述开关管可与所述第二管芯的源极以及所述第一公共电压输出端分别电连接。

2.如权利要求1所述的测试电路，其特征在于，还包括两个辅助电源，每一所述辅助电源串联设置于一个所述管芯的栅极与源极之间。

3.如权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述开关管为电子继电器。

4.如权利要求3所述的测试电路，其特征在于，所述开关电路为电子继电器选择开关矩阵。

5.如权利要求1所述的测试电路，其特征在于，还包括：

两个电压表，每一所述电压表串联在一个所述MOS管的栅极与源极之间；和

电流表，串联在所述第一管芯的源极与所述第二管芯的源极之间。

6.一种双管芯器件测试系统，其特征在于，包括多个双管芯器件测试电路和测试机台，所述双管芯器件测试电路包括：

测试机台，用于承载待测器件，以及加载测试程序；

待测器件，包括第一管芯和第二管芯，所述第一管芯的漏极和第二管芯的漏极电连接，且通过探针与所述测试机台电连接；

电压源，包括第一浮动电压源和第二浮动电压源，其中所述第一浮动电压源包括第一驱动电压输出端、第一感应电压输出端和第一公共电压输出端，所述第二浮动电压源包括第二驱动电压输出端、第二感应电压输出端和第二公共电压输出端；以及

开关电路，包括多个开关管，每一所述输出端与所述开关管一一对应电连接，所述第一驱动电压输出端通过所述开关管可与所述第一管芯的栅极电连接，所述第一感应电压输出端通过所述开关管可与所述第一管芯的源极以及所述第二公共电压输出端分别电连接，所述第二驱动电压输出端通过所述开关管可与所述第二管芯的栅极电连接，所述第二感应电压输出端通过所述开关管可与所述第二管芯的源极以及所述第一公共电压输出端分别电连接。

7.如权利要求6所述的测试系统，其特征在于，所述测试电路还包括两个辅助电源，每一所述辅助电源串联设置于一个所述管芯的栅极与源极之间。

8.如权利要求6所述的测试系统，其特征在于，所述测试电路还包括：

两个电压表，每一所述电压表串联在一个所述MOS管的栅极与源极之间；和

电流表，串联在所述第一管芯的源极与所述第二管芯的源极之间。

9.一种利用如权利要求6-8任一项所述的双管芯器件测试系统对双管芯器件进行测试的双管芯器件测试方法，其特征在于，包括：

加载测试程序，闭合第一驱动电压输出端与第一管芯的栅极之间的开关管、所述第一感应电压输出端与第一管芯的源极之间的开关管以及第一公共电压输出端与第二管芯的栅极之间的开关管；

根据需要测量的参数，将所述第二管芯置于特定状态，其中所述特定状态包括短路状态、开路状态和偏置状态；

根据测试规范对所述第一管芯进行测试，并输出测试数据；

闭合第二驱动电压输出端与第二管芯的栅极之间的开关管、所述第二感应电压输出端与第二管芯的源极之间的开关管以及第二公共电压输出端与第一管芯的栅极之间的开关管；

根据所述需要测量的参数，将所述第一管芯置于所述特定状态；

根据测试规范对所述第二管芯进行测试，并输出测试数据。

10.如权利要求9所述的双管芯器件测试方法，其特征在于，将所述第一管芯置于所述特定状态，包括：

将所述第一管芯的栅极与辅助电源电连接，通过所述辅助电源为所述第一管芯的栅极提供辅助电压，以使所述第一管芯处于偏置状态；或者

通过探针将所述第一管芯的栅极和源极短路，以使所述第一管芯处于短路状态；或者

将所述第一管芯的栅极和源极之间的回路断开，以使所述第一管芯处于开路状态。