[发明专利]基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器

权利要求书

1.一种基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器，其特征在于，包括传输光纤，所述传输光纤分为三个部分，依次记为第一部分、第二部分、第三部分；第一部分为输入光纤，第二部分为调制区，第三部分为输出光纤；将调制区的传输光纤去除部分包层，并在去除部分包层的平面上制作薄膜铌酸锂波导和调谐电极；通过控制输入端薄膜铌酸锂波导的波导截面尺寸与波导长度，控制输入端纤芯中的光场能量耦合进入薄膜铌酸锂波导中的比例。

2.根据权利要求1所述的一种基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器，其特征在于，所述调谐电极包括第一电极、第二电极，所述薄膜铌酸锂波导在去除部分包层的平面上沿与纤芯纵轴平行的方向布置，所述第一电极与第二电极分别位于薄膜铌酸锂波导两侧。

3.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器，其特征在于，所述薄膜铌酸锂波导位于纤芯正上方。

4.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器，其特征在于，所述薄膜铌酸锂波导布置于偏离纤芯正上方轴线一定距离的位置。

5.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的新型光纤在线调制器，其特征在于，所述薄膜铌酸锂波导为MZI结构，MZI结构的上臂与下臂在去除部分包层的平面上对称分布于纤芯正上方轴线两侧，所述调谐电极包括第一电极、第二电极以及第三电极，所述第一电极布置于MZI结构的上臂与下臂内侧，所述第二电极布置于MZI结构的上臂外侧，所述第三电极布置于MZI结构的下臂外侧。

6.在去除部分包层的平面上制作权利要求1或3所述薄膜铌酸锂波导和调谐电极的方法，其特征在于，包括：

S1、对调制区的传输光纤通过打磨抛光的方式去除一定厚度的包层，得到抛光面；

S2、在抛光面上键合铌酸锂薄膜；

S3、采用光刻工艺制作出薄膜铌酸锂波导图案；

S4、根据步骤S3的波导图案利用感应耦合离子束刻蚀的方法形成矩形波导；

S5、在波导两边制备出调谐电极。

7.在去除部分包层的平面上制作权利要求4所述薄膜铌酸锂波导和调谐电极的方法，其特征在于，包括：

M1、对调制区的传输光纤通过打磨抛光的方式去除一定厚度的包层，得到抛光面；

M2、在抛光面上键合铌酸锂薄膜；

M3、采用光刻工艺制作出薄膜铌酸锂波导图案；

M4、根据步骤S3的波导图案利用感应耦合离子束刻蚀的方法形成MZI结构波导；

M5、在MZI结构波导两臂内侧及两臂各自的外侧制备出调谐电极。