[发明专利]蒸镀控制方法及蒸镀设备

权利要求书

1.一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括真空腔体和位于真空腔体内部的坩埚，其特征在于，还包括：

可移动挡板，所述可移动挡板在坩埚内部与坩埚上表面平行设置，用于盛放蒸镀材料；

气压监测装置，所述气压监测装置与所述真空腔体连接；

气压传动装置，所述气压传动装置分别与所述气压监测装置和所述可移动挡板连接，用于根据所述气压监测装置反馈的蒸汽压强控制所述可移动挡板在坩埚内部向上或向下移动，以将坩埚内部的蒸气压强维持在维稳压强。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述气压传动装置包括：气源装置、控制装置以及执行机构；

所述控制装置分别与所述气源装置、所述执行机构及所述气压监测装置连接；

所述执行机构与所述可移动挡板连接。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述气源装置包括空压机和原动机；

所述原动机，用于产生机械能；

所述空压机，用于将所述原动机产生的机械能转换为压力能，并将所述压力能通过所述控制装置传递给所述执行机构；

所述执行机构，用于将所述压力能转换为机械能并输出到可移动挡板上，以推动可移动挡板向上或向下移动。

4.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，所述控制装置包括：压力阀、流量阀、方向阀以及控制元件。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，还包括：补料装置；

所述补料装置分别与所述气压传动装置、所述真空腔体连接。

6.一种蒸镀控制方法，其特征在于，所述方法应用于如上述权利要求1-5任一项所述的蒸镀设备，所述方法包括：

气压监测装置检测坩埚内部的蒸汽压强，并将所述蒸汽压强发送至气压传动装置；

所述气压传动装置根据所述蒸汽压强确定可移动挡板的移动距离和移动方向，并控制所述可移动挡板按照所述移动方向移动所述移动距离，以改变坩埚内部的蒸汽压强。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述气压传动装置根据所述蒸汽压强确定可移动挡板的移动距离和移动方向，包括：

所述气压传动装置中的控制装置依据所述蒸汽压强和预设的维稳压强确定可移动挡板的移动方向；

所述控制装置利用所述蒸汽压强确定可移动挡板与坩埚上表面之间需要保持的第一高度，并获取当前可移动挡板与坩埚上表面之间的第二高度，依据所述第一高度与所述第二高度确定可移动挡板的移动距离。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，控制装置依据所述蒸汽压强和预设的维稳压强确定可移动挡板的移动方向，包括：

若所述蒸汽压强小于所述维稳压强，则确定可移动挡板的移动方向为向靠近坩埚上表面的方向移动；

若所述蒸汽压强大于所述维稳压强，则确定可移动挡板的移动方向为向远离坩埚上表面的方向移动。

9.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述气压传动装置控制所述可移动挡板按照所述移动方向移动所述移动距离，包括：

所述气压传动装置中的控制装置根据所述移动方向调节方向阀，并根据所述移动距离调节压力阀和流量阀，以使所述气压传动装置中的执行机构接收到能够按照所述移动方向推动可移动挡板移动所述移动距离的压力能。

10.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述气压传动装置根据所述蒸汽压强确定可移动挡板的移动距离和移动方向之前，所述方法还包括：

若所述蒸汽压强小于预设的临界压强，则所述气压传动装置向补料装置发送用于指示补料的信号；

所述补料装置基于所述信号向所述坩埚导入蒸镀材料。