[发明专利]传送异常检测系统和传送异常检测方法

说明书

本发明提供一种传送异常检测系统，该传送异常检测系统能够从集装箱传送设备和安装设备接收信息，该集装箱传送设备被配置为传送传送集装箱，该安装设备被配置为加载由所述集装箱传送设备传送的所述传送集装箱，所述系统包括：确定部，该确定部被配置为：基于分配给每个传送集装箱的集装箱标识ID和分配给每个传送设备的传送设备标识ID来记录哪个集装箱传送设备正在传送所述传送集装箱；并且通过将由设置在所述集装箱传送设备中的振动检测部件获取的所述集装箱传送设备的振动检测信息和由设置在所述安装设备中的集装箱状态检测部件获取的所述传送集装箱的状态检测信息进行组合来确定所述集装箱传送设备和所述传送集装箱中的一方或双方的异常。

相关申请的交叉引用

本申请基于2018年12月14日提交的日本专利申请号2018-234178并要求该日本专利申请的优先权的权益，其全部内容通过引用包含在本文中。

技术领域

本发明涉及一种传送异常检测系统和传送异常检测方法，该传送异常检测系统和传送异常检测方法能够检测当能够存储诸如晶片等的传送目标对象的集装箱(传送集装箱)被传送设备传送时可能发生的异常。

背景技术

在半导体制造工艺中，在洁净室中处理晶片以提高产率和质量。使用称为FOUP(前开式统一舱)的存储舱(传送集装箱)来维持晶片周围的适当的大气。晶片容纳在FOUP中并由FOUP管理。在这种半导体制造工艺中，将包含晶片的FOUP安装在高度清洁的内部空间中。与晶片传送室相邻地设置有作为安装设备的装载端口，该装载端口具有在与FOUP的门(以下称为“FOUP门”)紧密接触的同时打开和关闭FOUP门的功能。

将包含未处理晶片的FOUP传送到作为安装设备的装载端口或将包含已处理晶片的FOUP从安装设备传送到预定位置的处理由集装箱传送设备(例如，架空运输(OHT：Overhead Transport)等)执行(参见例如专利文献1：日本专利申请公开2011-86733号公报)。集装箱传送设备可以设置有用于在传送FOUP的过程中检测集装箱传送设备本身的振动的部件。集装箱传送设备的故障或劣化可以基于由这样的振动检测部件获取的检测信息来早期地确定。这使得可以进行适当的维护。

然而，当集装箱传送设备在不传送FOUP的情况下行进时，如果集装箱传送设备的振动检测部件检测到异常振动，则可以确定异常振动的原因是集装箱传送设备本身。然而，当在集装箱传送设备传送FOUP的过程期间检测到异常振动时，异常振动的原因不一定是由于集装箱传送设备的故障。具体地，当由集装箱传送设备传送的FOUP劣化或变形时，在由集装箱传送设备传送期间产生的振动可能在FOUP的影响下增加。例如，如果在通过集装箱传送设备传送FOUP期间FOUP的变形在进行并且FOUP从安装设备的安装台向上移动，使得FOUP由于FOUP的重心的移动而倾斜，则集装箱传送设备的振动可以增加并且可以检测到在正常传送期间未发生的振动。

由于在FOUP等的变形的影响下，由FOUP引起的振动被添加到由集装箱传送设备本身的振动检测部件获取的检测值，因此存在不能确定是否由于集装箱传送设备的故障或劣化而检测到异常振动或者是否由于FOUP的变形而引起异常振动的问题。在现有技术中，即使集装箱传送设备由于FOUP的变形或劣化而异常，集装箱传送设备整体也被视为异常。即使该异常是由FOUP引起的，也暂时停止集装箱传送设备的操作以检查该集装箱传送设备。

发明内容

本发明提供一种传送异常检测系统和传送异常检测方法，当设置在集装箱传送设备中的振动检测部件的检测值异常时，该传送异常检测系统和传送异常检测方法能够指定异常振动是由变形的或劣化的传送集装箱的传送引起的还是由集装箱传送设备本身的故障引起的。本发明提供了一种能够应对除FOUP之外的传送集装箱、除OHT之外的集装箱传送设备和除装载端口之外的安装设备的技术。