[发明专利]一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法

说明书

本发明公开了一种控制平台出板位置的激光直写曝光系统及曝光方法，属于激光直写曝光技术领域。所述系统根据板材资料输入装置输入的待曝光板材资料计算工件台出板距离，并根据计算出的出板距离控制工件台将待曝光板材运输至相应的曝光位置，以便曝光设备对板材进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；有效减少了小尺寸板材曝光时出板的无效距离，减少了曝光时间，有效提高了产能。同时未对设备进行大幅改动，方便后续设备维护。

技术领域

本发明涉及一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法，属于激光直写曝光技术领域。

背景技术

激光直写曝光设备是一种不需要使用菲林，可以直接将PCB(Printed CircuitBoard，PCB)板的曝光资料传送到LDI(Laser Direct Image，LDI)设备上由软件识别处理，直接在板材上进行曝光，实现图形转移的设备。因其省略了制作菲林的工序，可以大幅度节省材料成本、储存成本、人力、时间等，因此近年来在快板打样、小批量生产等方面得到了广泛的应用。

LDI上设有吸盘，用来放置待曝光的PCB板，使用真空吸附使板子固定在吸盘上，通过精密平台的运行带动吸盘和吸盘上放置的待曝光的PCB板运动，同时曝光引擎投下需曝光的图形对PCB板进行曝光，将图形转移到覆盖在PCB板的光阻上。

由于板材的尺寸范围变化较大，例如250*250mm---630*730mm。而LDI设备使用吸盘来放置待曝光的PCB板，为了兼顾各种尺寸的板材，其吸盘尺寸必须设计成能满足放置最大尺寸板材的要求。

在LDI的上板、对准、曝光、下板的整个曝光流程中，上板和下板时都需要将放置待曝光的PCB板的吸盘从曝光位置移出以方便上板和下板操作，而放置待曝光的PCB板的吸盘从曝光位置移出的位置都是针对最大尺寸板材设置的固定位置，也就是说，针对不同尺寸的板材，上板和下板操作时，放置待曝光的PCB板的吸盘从曝光位置移出时的距离都是一样的：如图1所示，对于图1左侧所示较大尺寸的PCB板和图1右侧所示较小尺寸的PCB板，吸盘移出的距离都是d；那么，对于图1右侧所示尺寸较小的板材来说，在曝光过程中无效的进出板的距离比尺寸大的板材要长，导致曝光时间较长，产能较低。

发明内容

为了解决目前存在的尺寸较小的板材在曝光过程中无效的进出板的距离比尺寸大的板材要长，导致曝光时间较长，产能较低问题，本发明提供了一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法。

一种激光直写曝光系统，包括曝光系统、工件台、数据处理系统、料号系统，所述数据处理系统获取料号系统中的待曝光板材资料，并计算工件台出板距离，根据计算出的出板距离控制工件台运动到相应位置以便放置待曝光板材，并将待曝光板材运输至相应的曝光位置进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；

所述出板位置的计算公式为：

出板距离＝最大出板距离-(系统可曝光最大板长度-待曝光板材长度)。

可选的，所述系统还包括板材尺寸识别装置，所述板材尺寸识别装置与数据处理系统相连；

所述板材尺寸识别装置用于识别待曝光板材的尺寸大小并发送给数据处理系统，以便数据处理系统核查其与所述料号系统中的待曝光板材资料中的尺寸信息是否一致。

可选的，所述系统还包括：上下板装置，所述上下板装置与数据处理系统相连，用于在曝光前将待曝光板材放至工件台预定位置处，和/或在曝光后将待曝光板材从工件台预定位置处移走；

所述板材尺寸识别装置设置于上下板装置上。

可选的，所述板材尺寸识别装置为视觉传感器。

可选的，所述工件台含有载物台，载物台上安装吸盘，所述吸盘用于放置待曝光板材，其特征在于，在工件台一侧设置定位装置，作为放置待曝光板材的基准位置。