[发明专利]一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法

权利要求书

1.一种激光直写曝光系统，包括曝光系统、工件台、数据处理系统、料号系统，其特征在于，所述数据处理系统获取料号系统中的待曝光板材资料，并计算工件台出板距离，根据计算出的出板距离控制工件台运动到相应位置以便放置待曝光板材，并将待曝光板材运输至相应的曝光位置进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；

所述出板距离的计算公式为：

出板距离＝最大出板距离-(系统可曝光最大板长度-待曝光板材长度)。

2.根据权利要求1所述的激光直写曝光系统，其特征在于，所述系统还包括板材尺寸识别装置，所述板材尺寸识别装置与数据处理系统相连；

所述板材尺寸识别装置用于识别待曝光板材的尺寸大小并发送给数据处理系统，以便数据处理系统核查其与所述料号系统中的待曝光板材资料中的尺寸信息是否一致。

3.根据权利要求2所述的激光直写曝光系统，其特征在于，所述系统还包括：上下板装置，所述上下板装置与数据处理系统相连，用于在曝光前将待曝光板材放至工件台预定位置处，和/或在曝光后将待曝光板材从工件台预定位置处移走；

所述板材尺寸识别装置设置于上下板装置上。

4.根据权利要求2所述的激光直写曝光系统，其特征在于，所述板材尺寸识别装置为视觉传感器。

5.根据权利要求1所述的激光直写曝光系统，其特征在于，所述工件台含有载物台，载物台上安装吸盘，所述吸盘用于放置待曝光板材，其特征在于，在工件台一侧设置定位装置，作为放置待曝光板材的基准位置。

6.根据权利要求5所述的激光直写曝光系统，其特征在于，所述工件台一侧下部设置打标装置，用于在待曝光板材上打出标记。

7.一种激光直写曝光方法，其特征在于，所述方法采用权利要求1-6任一所述的激光直写曝光系统进行曝光，所述方法包括：利用从料号系统获取的待曝光板材资料计算工件台出板距离，并根据计算出的出板距离控制工件台运动到该位置以便放置待曝光板材，然后将待曝光板材运输至相应的曝光位置进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；

所述出板距离的计算公式为：

出板距离＝最大出板距离-(系统可曝光最大板长度-待曝光板材长度)。

8.根据权利要求7所述的激光直写曝光方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用板材尺寸识别装置识别待曝光板材的尺寸大小，并核查其与所述料号系统中的待曝光板材资料中的尺寸信息是否一致。

9.根据权利要求8所述的激光直写曝光方法，其特征在于，若核查结果为：板材尺寸识别装置识别的待曝光板材的尺寸大小与所述板材资料输入装置输入的待曝光板材资料中的尺寸信息不一致，则发出警报。

10.根据权利要求8所述的激光直写曝光方法，其特征在于，所述方法还包括：

利用板材尺寸识别装置以定位装置为参照识别待曝光板材的位置信息，并核查所述待曝光板材的位置信息是否与基准位置相同，所述基准位置为待曝光板材在吸盘上所应当处于的位置。