[发明专利]转架及具有其的镀膜设备

说明书

本公开涉及镀膜技术领域，提出了一种转架及具有其的镀膜设备。转架包括第一转盘、第二转盘、转动杆、第一驱动组件以及第二驱动组件，第一转盘与第二转盘相对设置，且同步可转动地设置；转动杆穿设在第一转盘与第二转盘上，且相对于第一转盘与第二转盘可转动地设置；第一驱动组件与第一转盘驱动连接，以驱动第一转盘、第二转盘以及转动杆绕第一轴线同步转动；第二驱动组件与转动杆驱动连接，以驱动转动杆绕第二轴线转动。通过转动杆的公转和自转，以及第一转盘和第二转盘的转动，可以适应不同产品在镀膜过程中对转动过程的要求，以此保证产品的镀膜效果。

技术领域

本公开涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种转架及具有其的镀膜设备。

背景技术

转架是PVD物理气相沉积(真空镀膜等)设备中必不可少的工作台，用于悬挂工件、产品。

目前，转架结构多是单纯的实现主体转动，即绕着单轴线转动，但此结构并不能很好地适用于某些特殊的镀膜产品，如360度周向均需镀膜的产品，利用此类转架可能会出现某些周向表面镀膜效果较差的问题，从而需要进行二者镀膜，整个镀膜时间就会增加。

发明内容

本公开的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种转架及具有其的镀膜设备。

根据本发明的第一个方面，提供了一种转架，包括：

第一转盘；

第二转盘，第一转盘与第二转盘相对设置，且同步可转动地设置；

转动杆，转动杆穿设在第一转盘与第二转盘上，且相对于第一转盘与第二转盘可转动地设置；

第一驱动组件，第一驱动组件与第一转盘驱动连接，以驱动第一转盘、第二转盘以及转动杆绕第一轴线同步转动；

第二驱动组件，第二驱动组件与转动杆驱动连接，以驱动转动杆绕第二轴线转动。

在本发明的一个实施例中，第一驱动组件包括第一驱动电机，第一驱动电机与第一转盘驱动连接，第二驱动组件包括第二驱动电机，第二驱动电机与转动杆驱动连接；

其中，第一驱动电机与第二驱动电机可独立运行。

在本发明的一个实施例中，第二驱动组件还包括：

驱动齿轮，第二驱动电机与驱动齿轮驱动连接；

自转齿轮，驱动齿轮与自转齿轮相啮合，自转齿轮设置在转动杆上。

在本发明的一个实施例中，自转齿轮为多个，多个自转齿轮沿驱动齿轮的周向方向间隔设置，转动杆为多个，多个转动杆与多个自转齿轮一一相对应地设置。

在本发明的一个实施例中，第一转盘、第二转盘以及驱动齿轮的中心线与第一轴线均相重合；自转齿轮的中心线与第二轴线相重合。

在本发明的一个实施例中，第一驱动组件还包括第一驱动轴，第一驱动电机与第一驱动轴的一端相连接，第一驱动轴的另一端与第一转盘相连接，第二驱动组件还包括第二驱动轴，第二驱动电机与第二驱动轴的一端相连接，第二驱动轴的另一端与驱动齿轮相连接；

其中，当第一驱动电机运行时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动；当第二驱动电机运行时，转动杆绕第二轴线转动；当第一驱动电机与第二驱动电机同步运行时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动，或转动杆绕第一轴线转动。

在本发明的一个实施例中，第二驱动电机的转速大于等于第一驱动电机的转速，以在第一驱动电机与第二驱动电机同步运行，且转速相等时，转动杆绕第一轴线转动；

或，在第一驱动电机与第二驱动电机同步运行，且第二驱动电机的转速大于第一驱动电机的转速时，转动杆绕第一轴线转动的同时，绕第二轴线转动。

在本发明的一个实施例中，转架还包括：