[发明专利]光学式感测装置的制造方法和光学式感测装置

权利要求书

1.一种光学式感测装置的制造方法，其特征在于，包括：

提供一晶圆，所述晶圆包括多个第一图像传感裸片，每一第一图像传感裸片包括多个像素单元，所述像素单元用于接收光束，并转换接收到的光束为相应的电信号；

在所述晶圆上形成多个镜头模块，所述镜头模块包括：

多个小透镜，设置在所述第一图像传感裸片上，所述多个小透镜彼此间隔设置，每个所述小透镜正对多个所述像素单元，所述小透镜用于会聚光束至所述像素单元；和

遮光部，设置在所述第一图像传感裸片上，所述遮光部位于所述多个小透镜之间的间隔区域，所述遮光部用于遮挡光束；和

对所述晶圆和所述镜头模块进行切割，形成多个第二图像传感裸片，其中，每一第二图像传感裸片包括一所述第一图像传感裸片以及位于所述第一图像传感裸片上方的镜头模块。

2.如权利要求1所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，进一步包括：

形成过滤层在所述晶圆上，所述过滤层用于透过目标波段的光束给所述多个第一图像传感裸片，以及过滤掉第二预设波段的光束，其中，所述第二预设波段与所述目标波段不同。

3.如权利要求2所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述过滤层形成在所述晶圆与所述镜头模块之间，或者，所述过滤层形成在所述镜头模块背对所述晶圆的一侧。

4.如权利要求2所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述第二预设波段为所述目标波段以外的波段。

5.如权利要求4所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述预设波段为可见光，所述第二预设波段包括近红外光。

6.如权利要求2所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述过滤层通过蒸镀工艺形成在所述晶圆上。

7.如权利要求1或6所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述镜头模块中的多个小透镜通过压印工艺形成在所述晶圆上。

8.如权利要求7所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述遮光层包括挡墙与遮光层，所述挡墙位于所述晶圆与所述遮光层之间，所述遮光层用于遮挡光束，其中，所述挡墙与所述多个小透镜为通过压印工艺一次成型。

9.如权利要求1所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，定义所述第一图像传感裸片用于感测光束的一面为感光面，所述遮光部至所述感光面的最高高度不低于所述小透镜至所述感光面的最高高度；或者，所述遮光部至所述感光面的最高高度低于所述小透镜至所述感光面的最高高度，且所述小透镜至所述感光面的最高高度与所述遮光部至所述感光面的最高高度的高度差不大于10微米。

10.如权利要求1所述的光学式感测装置的制造方法，其特征在于，所述遮光部在高度上不矮于所述小透镜，或者矮于所述小透镜但不矮于10微米以上。