[发明专利]检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路

说明书

本发明提供一种检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路，目的在于抑制由漏电流导致的测定值的误差。检测装置具有：检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量变化的检测用电容器；驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号，在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。

技术领域

本发明涉及湿度检测装置等检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路。

背景技术

作为检测装置，例如湿度检测装置有将湿敏膜用作电介质的静电电容式检测装置，其中，湿敏膜由介电常数根据吸收的水分量而变化的高分子材料形成。在该静电电容式的湿度检测装置中，在电极间配置湿敏膜，通过测定该电极间的静电电容来求出湿度(相对湿度)(例如，参照专利文献1)。

在专利文献1所记载的湿度检测装置中，设有静电电容根据湿度变化的传感器部、不论湿度而保持固定的静电电容的基准部(参考部)，通过将两者的电容差变化为电压来测量湿度。将传感器部和基准部并设于基板上。

作为在这样的静电电容式湿度检测装置中所使用的电路部，已知将从传感器部输出的电荷通过电荷放大器变换为电压的结构(例如，参照专利文献2)。该电路部中除了电荷放大器外，还设有通过矩形波的交流驱动信号驱动传感器部的驱动电路等。

在上述检测装置中，在端子上设有静电放电保护电路等，由此考虑发生漏电流的情况。在电容检测端子发生漏电流时，来自电荷放大器的输出电压变动，测定值中会产生误差。

专利文献1：日本特许第5547296号公报

专利文献2：日本特许第6228865号公报

发明内容

本发明的目的在于，抑制漏电流导致的测定值的误差。

公开的技术是一种检测装置，具备：检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量而变化的检测用电容器；驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号，并且在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，并且在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。

根据本发明，能够抑制由漏电流导致的测定值的误差。

附图说明

图1是举例表示本发明的一实施方式的湿度检测装置的概要结构的图。

图2是概要性地表示沿图1中的A-A线的断面的断面图。

图3是去除了模制树脂的状态下的湿度检测装置的平面图。

图4是表示传感器芯片的结构的概要平面图。

图5是举例表示ESD保护电路的结构的电路图。

图6是举例表示构成ESD保护电路的NMOS晶体管的层构造的图。

图7是举例表示湿度检测部的结构的电路图。

图8是举例表示温度检测部的结构的电路图。

图9是用于说明传感器芯片的元件构造的概要断面图。

图10是举例表示加热部的平面形状的概要平面图。