[发明专利]检测装置、检测装置的控制方法以及电荷电压变换电路

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，具有：

检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量而变化的检测用电容器；

驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号,并且在第1期间和第2期间使上述第1驱动信号的电压反转；

电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压，并且在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压；以及

差值处理部，其生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

上述检测部还具有与第2驱动端子连接的第3电极，通过上述第2电极和上述第3电极构成与上述物理量对应的静电电容不发生变化的参考用电容器，

上述驱动部向上述第2驱动端子施加与上述第1驱动信号相位相反的交流的第2驱动信号。

3.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，

上述差值处理部是差动输入方式的AD转换器。

4.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，

上述检测装置具有对上述第1输出电压和上述第2输出电压进行采样并保持的采样保持电路。

5.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，

上述物理量为湿度。

6.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，

上述第3电极设置于基板的上方，

经由绝缘膜将上述第2电极设置于上述第3电极的上方，

经由湿敏膜将上述第1电极设置于上述第2电极的上方。

7.根据权利要求6所述的检测装置，其特征在于，

上述检测装置具有：

第1半导体芯片，其包括上述检测用电容器和上述参考用电容器；以及

第2半导体芯片，其包括上述驱动部和上述电荷电压变换部。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，

上述第1半导体芯片被层压在上述第2半导体芯片上。

9.根据权利要求1或2所述的检测装置，其特征在于，

上述电荷电压变换部由在上述第1期间被驱动的第1电荷电压变换部和在上述第2期间被驱动的第2电荷电压变换部构成，

将上述第1电荷电压变换部所包含的第1电容器和上述第2电荷电压变换部所包含的第2电容器相邻配置，在上述第1电容器与上述第2电容器之间配置有固定电位的屏蔽配线。

10.一种检测装置的控制方法，该检测装置具有：

检测部，其具有与第1驱动端子连接的第1电极和与信号端子连接的第2电极，通过上述第1电极和上述第2电极构成静电电容根据物理量而变化的检测用电容器；

驱动部，其向上述第1驱动端子施加交流的第1驱动信号；

电荷电压变换部，其将在上述信号端子产生的电荷变换为电压；以及

差值处理部，其特征在于，

使驱动部在第1期间和第2期间将上述第1驱动信号的电压反转，由此，

使上述电荷电压变换部在上述第1期间生成第1输出电压，在上述第2期间生成与上述第1期间的电压反转的第2输出电压，

使上述差值处理部生成上述第1输出电压与上述第2输出电压的差值。

11.一种开关电容器方式的电荷电压变换电路，其特征在于，

该电荷电压变换电路具有：第1电荷电压变换部，其包含第1电容器，在第1期间被驱动；

第2电荷电压变换部，其包含第2电容器，在与上述第1期间不同的第2期间被驱动，并且将上述第2电容器与上述第1电容器相邻配置；以及

固定电位的屏蔽配线，其配置在上述第1电容器与上述第2电容器之间。