[发明专利]一种提升晶圆边缘器件良率的方法

权利要求书

1.一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于，包括以下步骤：；

S1、按比例称取丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合单体，依次将上述物料加入搅拌反应釜中，并搅拌均匀；

S2、将S1中搅拌均匀的混合物加热到70-90℃，之后向搅拌反应釜中加入引发剂开始进行反应，反应保持回流0.5h；

S3、回流反应完毕之后，在2h内将丙烯酸丁醋单体、溶剂和引发剂的混合液加入到搅拌反应釜中，保持温度恒定，同时保持回流；

S4、将引发剂和溶剂的混合溶液加入到反应器中，保持回流，保温反应2.5h；

S5、保持温度反应6h，使反应转化完全后降温出料，制备成成膜树脂；

S6、将制备的成膜树脂加入搅拌反应釜中，之后向其中加入双丙酮丙烯酞胺作为改性剂，进行聚合反应，制备成双胺改性成膜树脂；

S7、称取双胺改性成膜树脂、光引发剂和交联单体及其它添加剂，放入搅拌反应釜中，在25℃下搅拌均匀，使各组分充分溶解，然后经过三次过滤后制备成双丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸类光刻胶；

S8、将制备的双丙酮丙烯酞胺改性甲基丙烯酸类光刻胶在基片表面涂覆一层光刻胶膜，使胶膜厚度适当，厚薄均匀，粘附良好；

S9、在80℃的恒温干燥箱中烘烤10-15分钟，使胶膜的干燥从里到外。

2.根据权利要求1所述的一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于：所述S1中丁酮、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲醋和丙烯酸丁醋混合单体质量比为5.8：3.2:3.4:1.24。

3.根据权利要求1所述的一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于：所述S7中光引发剂制备包括以下步骤：

A1、在反应器中加入丁酮和甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酷及丙烯酸丁醋混合单体，

A2、将搅拌均匀的混合物加热到80-85℃，反应保持回流0.5h；

A3、反应完毕之后，在3h内将剩余混合单体的混合液加入到反应器中，保持温度恒定，同时保持回流；

A4、保持回流，保温反应3h，使反应转化完全后降温出料，制备得到光引发剂。

4.根据权利要求1所述的一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于：所述S4中的引发剂采用。

5.根据权利要求1所述的一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于：所述S4中的溶剂采用丙酮。

6.根据权利要求1所述的一种提升晶圆边缘器件良率的方法，其特征在于：所述S8中光刻胶的胶膜厚度约为可分辨线宽的3倍左右。