[发明专利]一种高温合金等离子体电化学研磨装置

权利要求书

1.一种高温合金等离子体电化学研磨装置，其特征在于：包括

阴极，工作时在所述阴极与待研磨合金之间施加有纳秒脉冲电压；

研磨刷，包括刷头和转盘，所述刷头设置于转盘上；所述刷头包括碳纤维丝；所述转盘为陶瓷法兰，所述刷头设置于所述陶瓷法兰上，所述陶瓷法兰轴与中心轴同轴；

螺旋拉弧装置，用于连接阴极和研磨刷，所述螺旋拉弧装置一端连接阴极另一端连接所述转盘；在阴极外设置有壳体，所述壳体内设置有第一腔体和第二腔体，所述阴极和螺旋拉弧装置设置于所述第一腔体内，所述第二腔体内流动有冷却液，所述第二腔体设置于所述第一腔体外围，所述第二腔体靠近所述壳体外壁；

水雾喷射装置，用于产生并喷射去离子水水雾；

驱动装置，用于驱动阴极、研磨刷和螺旋拉弧装置绕中心轴旋转；

所述螺旋拉弧装置为弹簧，所述弹簧通过螺杆设置在阴极与研磨刷之间，所述弹簧套设于螺杆内，所述螺杆、弹簧与中心轴同轴。

2.根据权利要求1所述的高温合金等离子体电化学研磨装置，其特征在于：所述水雾喷射装置的喷射口靠近所述刷头，所述水雾喷射装置将所述去离子水喷射于碳纤维丝上。

3.根据权利要求1所述的高温合金等离子体电化学研磨装置，其特征在于：所述阴极为石墨棒或钨棒。