[发明专利]一种PERC电池电极复合工艺

说明书

本发明公开了一种PERC电池电极复合工艺，所述方法包括如下步骤：将钝化后的电池片放置于操作台上；在电池片上放置遮盖层，对露出的电极进行镀层；在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接；印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结，这样也就避免了背电极和正电极位置由于银和硅片接触所引起的载流子复合，以及电池片出现EL测试背电极发黑不良问题，从而提升电池片良率和电池片转换效率。

技术领域

本发明涉及太阳能光伏电池制造技术领域，具体涉及一种PERC电池电极复合工艺。

背景技术：

PERC电池技术即钝化背面发射极和背面电池技术，PERC电池与常规电池最大的区别在于背表面介质膜钝化，采用局部金属接触，有效降低背面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射。PECVD(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，中文：等离子体增强化学的气相沉积法)是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。ALD(英文：Atomic layer deposition，中文：原子层沉积)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处,但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。在目前的太阳能PERC电池生产过程中，由于节省成本考虑，目前背面氮化硅膜层厚度在110nm-130nm，在目前的烧结条件下会出现背银烧结后穿透背面钝化层的情况，从而导致背面电极位置在EL测试的时候呈现发黑的状态，影响产品良率。同时由于背银和硅烧结后发生结合，在此位置形成复合中心，使附件的载流子在这里发生复合，降低电池片光电转换效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种PERC电池电极复合工艺，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。

一种PERC电池电极复合工艺，所述方法包括如下步骤：

将钝化后的电池片放置于操作台上；

在电池片上放置遮盖层，对露出的电极进行镀层；

在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接；

印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结。

进一步的，所述电池片的钝化方法包括如下步骤：

对电池片双面进行制绒形成绒面；

对电池片正面进行磷扩散形成PN结，随后镀上若干层二氧化硅膜和氮化硅膜；

对电池片背面进行抛光、去除边缘PN结及磷硅玻璃，先镀若干层氧化铝膜，达到钝化效果后再镀若干层氮化硅膜。

进一步的，对电极进行镀层的方法包括如下步骤：

将电池片背面朝上放置于操作台上并盖上遮盖层，对露出的背电极镀氮化硅薄膜；

待镀层钝化后，将电池片翻转使其正面朝上，对正面进行镀膜；

待膜钝化后，盖上遮盖层，对露出的正电极进行镀层。

进一步的，在硅片背面开槽，将印刷的浆料和硅片进行连接的方法包括如下步骤：

按照预设图形用激光在硅片背面开设深度不小于背面氧化铝和氮化硅厚度的槽孔；

将背面印刷的浆料和硅片形成接触。

进一步的，印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极，并进行烧结的方法包括如下步骤：

用浆料印刷背面电极、背面铝背场及正面栅线和电极；

将印刷好的电池片在300～900℃下进行烧结，使印刷的浆料和硅片形成良好的欧姆接触。