[发明专利]一种具有保护功能的MOCVD加热器源在审
申请号: | 201911110844.0 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110809335A | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 石启磊;陈淼淼;刘同武 | 申请(专利权)人: | 江苏实为半导体科技有限公司 |
主分类号: | H05B3/02 | 分类号: | H05B3/02;C23C16/44;F25D31/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 保护 功能 mocvd 加热器 | ||
本发明公开了一种具有保护功能的MOCVD加热器源,包括MOCVD加热器源本体、底座、支撑腿、底板、第一电动推杆、连接框、滚轴、滚筒、垫板、第二电动推杆、顶壳、通孔、导流板、气泵、注气管、喷嘴、排气壳、固定架、抽风机和排气管。该种具有保护功能的MOCVD加热器源结构简单、设计新颖,便于工作者调节连接框的位置,进而便于移动MOCVD加热器源,方便工作者移动MOCVD加热器源,满足工作者的使用需求,便于使用,通过设置的冷却机构的作用下,便于通过气泵加速加热丝表面的空气流动,便于将加热丝表面的热量气体导出,提高加热丝表面的散热效果,便于加热丝降温,便于使用。
技术领域
本发明涉及一种MOCVD加热器源,具体是一种具有保护功能的MOCVD加热器源,属于MOCVD加热器源应用技术领域。
背景技术
电加热器是指利用电能达到加热效果的电器;它体积小,加热功率高,使用十分广泛,采用智能控制模式,控温精度高,可与计算机联网;应用范围广,寿命长,可靠性高。加热器原理的核心的是能量转换,最广泛的就是电能转换成热能。
现有MOCVD加热器源在使用过程中存在很多问题,如现有一些MOCVD加热器源使用后,MOCVD加热器源顶端的加热丝长时间暴露在空气中,容易落到其他物体,导致加热丝堵塞,同时加热丝不使用时,降温较慢,容易不小心触碰造成烫伤,影响使用用。因此,针对上述问题提出一种具有保护功能的MOCVD加热器源。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有保护功能的MOCVD加热器源。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的,一种具有保护功能的MOCVD加热器源,包括MOCVD加热器源本体、底座、第一电动推杆、第二电动推杆、移动固定机构、冷却机构以及排温机构;其中所述MOCVD加热器源本体底部固定连接有底座,且底座底侧固定连接有第一电动推杆;所述MOCVD加热器源本体侧表面设有固定连接在底座表面的第二电动推杆;
所述移动固定机构包括支撑腿、连接框、滚轴以及滚筒,且支撑腿固定连接在底座底侧;所述第一电动推杆输出端固定连接有连接框,且连接框内壁固定连接有滚轴;所述滚轴表面套接有滚筒;
所述冷却机构包括定顶壳、气泵、注气管以及喷嘴,且顶壳固定连接在第二电动推杆输出端顶端;所述顶壳顶侧表面固定连接有气泵,且气泵输出端固定连接有注气管;所述注气管末端与固定连接在顶壳内壁的喷嘴;
所述排温机构包括排气壳、固定架、抽风机以及排气管,且排气壳固定连接在顶壳左侧;所述排气壳内通过固定架固定连接有抽风机,且排气壳左侧表面固定连通有排气管。
优选的,所述顶壳左侧表面开设有通孔,且顶壳内腔通过通孔与排气壳内腔固定连通。
优选的,所述底座底侧固定连接有四个支撑腿,四个所述支撑腿固定连接在底座表面四个拐角位置处,且支撑腿底端固定连接有底板。
优选的,所述连接框数目为两个,两个连接框位于底座底侧相对位置,每个所述连接框顶部相对侧位置处。
优选的,所述第二电动推杆数目为四个,四个所述第二电动推杆在底座顶侧表面四个位置处。
优选的,所述喷嘴数目为若干个,相邻所述喷嘴之间等距分布。
优选的,所述抽风机数目为若干个,且相邻抽风机之间等距分布。
优选的,所述排气管数目为若干个,若干个相邻所述排气管之间等距分布。
优选的,所述顶壳顶侧内壁固定连接有导流板,且导流板左端位于通孔顶侧的顶壳内壁。
优选的,所述MOCVD加热器源本体顶端侧表面固定连接有垫板,且垫板位于顶壳底侧。
本发明的有益效果是:
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