[发明专利]一种晶粒抛光装置夹持件

说明书

本发明公开了一种晶粒抛光装置夹持件，涉及一种抛光台，包括基座、抛光台，还包括夹持组件，夹持组件用于固定晶粒，夹持组件包括夹持部和与夹持部固定连接的支撑杆；升降组件，升降组件可调节夹持装置的高度。解决了人工手持可能会在剖光时出现误差，工作人员需要反复对剖光程度进行确认导致浪费时间的问题。

技术领域

本发明涉及一种抛光台，具体为一种晶粒抛光装置夹持件。

背景技术

为确保半导体器件的质量，现通常会对完成某些半导体制造工艺后的晶圆进行检测，对晶圆进行检测时，通常会将晶圆切割成微小的晶粒(4-6平方毫米左右)，之后在如图1所示的现有技术的简易抛光机台上进行抛光从而形成需要的检测面(包括平面、断面和斜面)。现有技术的简易抛光机台具有基座和设置在基座上用于抛光晶粒的抛光台，在抛光台上抛光晶粒时，需操作人员手持晶粒进行抛光且通过人工施加压力来控制抛光。

这种剖光设备具有如下缺点，人工手持，可能会在剖光时出现误差，并且剖光的时间难以控制，工作人员需要反复对剖光程度进行确认，以免剖光过度，这种方式浪费时间。

发明内容

本发明目的在于提供一种晶粒抛光装置夹持件，以解决上述背景技术中提出的人工手持可能会在剖光时出现误差，工作人员需要反复对剖光程度进行确认导致浪费时间的问题。

一种晶粒抛光装置夹持件，包括基座和抛光台，还包括

夹持组件，所述夹持组件用于固定晶粒，所述夹持组件包括夹持部和与夹持部固定连接的支撑杆；

升降组件，所述升降组件可调节夹持装置的高度，升降组件包括

升降台，所述升降台架设于抛光台上方，且高度可调，位于抛光台正上方的升降台中部开设有条形通孔，所述支撑杆可转动的设置于条形通孔内；

底座，所述底座固定在抛光台侧边；

调节螺杆，所述调节螺杆下端与底座固定连接，所述调节螺杆上端穿过升降台，且与调节螺杆端部螺接调节螺母；

调节弹簧，调节弹簧套设在调节螺杆上，

调节弹簧对升降台进行弹性支撑。

优选的，所述夹持部包括

本体，所述本体向内凹设有夹持槽，所述夹持槽上设有若干滑道；

若干柱塞杆，所述柱塞杆与滑道对应设置；

连接腔体，所述滑道的端部通过连接腔体连通，所述连接腔体与外界连通；

密封栓，所述密封栓设于连接腔体与外界连通处；

夹持杆，所述夹持杆可滑动穿过本体，且夹持杆位于夹持槽内的一端固定连接有橡胶球。

优选的，所述夹持杆上设有限位组件，所述限位组件包括棘轮和棘轮杆，所述夹持杆一端设有齿牙，所述棘轮与齿牙配合连接，所述棘轮杆与棘轮配合连接，所述棘轮杆通过滑动杆与夹持槽侧壁滑动连接。

优选的，所述滑动杆一端凸设有限位凸起，所述限位凸起上套设有复位弹簧，滑动杆通过复位弹簧完成棘轮杆的复位。

优选的，还包括角度调节组件，所述调节组件对所述支撑杆的转动角度进行调节，所述调节组件包括

调节板，所述调节板水平设置于升降台上方，所述调节板中部设有条形滑槽，所述调节板下表面两端部向下凸设有限位板，所述限位板可滑动的插入到所述升降台中；

至少一个T型滑块，T型滑块滑动设置于条形滑槽内，T型滑块下端设有矩形通孔，所述矩形通孔与支撑杆上端连接；

丝杆，丝杆穿设于调节板中部，与T型滑块配合连接。