[发明专利]用于压印光刻的压印物料有效
| 申请号： | 201911093950.2 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN110713722B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | M.舒伊基 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邵长准;黄念 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 压印 光刻 物料 | ||
【权利要求书】：
1.具有亲水凸模表面的凸模和具有疏水表面的能够用于压印光刻的可固化压印物料的组合，压印物料由以下的混合物组成：
- 至少一种基于氧化硅的可聚合主要组分，和
- 至少一种用于设定亲水性和/或疏水性的次要组分，和
- 引发剂，和
- 溶剂，
其特征在于，在所述引发剂活化的情况下，仅所述至少一种主要组分发生聚合反应，其中一种或多种主要组分由以下材料中的至少之一形成：
- 聚有机硅氧烷
- 原硅酸四乙酯，
其中压印物料与压印凸模间的粘着力小于2.5 J/m2。
2.如权利要求1所述的组合，其中所述一种或多种主要组分由多面体低聚倍半硅氧烷形成。
3.如权利要求1所述的组合，其中一种或多种次要组分由以下化合物中的至少之一组成：
• 聚丙烯酸酯，
• 醚，
• 环氧树脂。
4.如权利要求1或2所述的组合，其中所述压印物料由一连串链长度为至少两个单体的聚合单体组成。
5.如权利要求1或2所述的组合，其中所述压印物料包含
- 小于10重量%的主要组分，
- 小于2重量%的次要组分，
- 小于2重量%的引发剂，和
- 小于90重量%的溶剂，
基于所述压印物料的重量。
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