[发明专利]一种研磨砂轮

说明书

本发明提供一种研磨砂轮，包括：环形基体；位于所述环形基体一端面的至少两圈砂轮齿，所述砂轮齿的底端通过粘接剂与所述环形基体固定连接，位于外圈的所述砂轮齿开设有贯穿其底端和顶端的排水孔，所述排水孔与所述环形基体内的排水通道相连通。根据本发明实施例的研磨砂轮，通过将砂轮齿直接固定在所述环形基体端面，无需在环形基体端面上开设沟槽，从而避免了砂轮齿嵌入沟槽部分无法使用的情况的发生，提高了砂轮齿的利用率，降低了生产加工成本；而且，由于在部分砂轮齿内开设了排水孔，增强了环形基体端面的冷却效果，使得设置两圈或多圈砂轮齿时同样满足冷却需求。

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，具体涉及一种研磨砂轮。

背景技术

目前，砂轮被广泛应用在硅片成型加工中的研磨工艺和减薄制程中，其主要由台金和研磨齿组成，台金表面开设有沟槽，用于安装研磨齿，研磨齿的高度一般为4mm、5mm以及7mm，由于研磨齿部分嵌在沟槽中，沟槽的深度通常为1mm，这将导致研磨齿最终实际利用部分的高度减少。而在硅片的沿磨加工过程中，砂轮是主要的消耗品，主要体现在研磨齿的磨损消耗，但研磨齿价格昂贵，造价成本高，由此，将导致硅片的加工成本增加。此外现有的砂轮受限于其冷却和排屑能力，其上的研磨齿通常只有一圈，加工效率较低。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种研磨砂轮，用以解决研磨齿利用率不高而导致生产加工成本增加以及砂轮加工效率低的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

本发明实施例提供了一种研磨砂轮，包括：

环形基体；

位于所述环形基体一端面的至少两圈砂轮齿，所述砂轮齿的底端通过粘接剂与所述环形基体端面固定连接，位于外圈的所述砂轮齿开设有贯穿其底端和顶端的排水孔，所述排水孔与所述环形基体内的排水通道相连通。

可选的，所述砂轮齿所在的所述环形基体端面的粗糙度范围为1.6～800μm。

可选的，所述砂轮齿的横截面面积自所述砂轮齿的底端向所述砂轮齿的顶端逐渐减小。

可选的，位于外圈的所述砂轮齿的横截面形状可以为任意平面封闭图形和位于所述平面封闭图形内部的圆形所形成的组合图形。

可选的，所述平面封闭图形包括：圆形、椭圆形和多边形。

可选的，同一圈中的各所述砂轮齿呈间隔设置，且相邻两个所述砂轮齿的形状互不相同。

可选的，所述平面封闭图形为椭圆形或多边形，所述砂轮齿的底端端面轮廓线中与所述砂轮齿所在圆圈的圆心距离最近和最远的两点之间的连线和所述砂轮齿所在圆圈的圆心与距所述砂轮齿所在圆圈的圆心距离最近的点之间的连线所成的夹角范围为0～90°。

可选的，所述研磨砂轮还包括：

位于所述砂轮齿所在的所述环形基体端面的至少两圈排水外孔，所述排水外孔与所述砂轮齿沿所述环形基体的半径方向交替布设。

可选的，同一圈中的每一所述砂轮齿的质量相同。

可选的，所述环形基体采用铝合金材料制成，所述砂轮齿采用金刚石材料制成。

本发明上述技术方案的有益效果如下：

根据本发明实施例的研磨砂轮，通过将砂轮齿直接固定在所述环形基体端面，无需在环形基体端面上开设沟槽，从而避免了砂轮齿嵌入沟槽部分无法使用的情况的发生，提高了砂轮齿的利用率，降低了生产加工成本；而且，由于在部分砂轮齿内开设了排水孔，增强了环形基体端面的冷却效果，使得设置两圈或多圈砂轮齿时同样满足冷却需求。

附图说明

图1为现有技术中研磨轮的结构示意图；