[发明专利]一种空心阴极放电电极水冷装置

说明书

本发明公开了一种空心阴极放电电极水冷装置,包括空心电极与箱体电极，所述空心电极为多层电极，且多层电极的主体为环绕成多层管状结构的多层电极管，且在多层电极管的两端分别设有进水口II与出水口II，所述进水口II与出水口II的外圆上均套设有密封套II，且在进水口II与出水口II的端部均固定套接有水管接头II，所述箱体电极的侧面设有与进水口II与出水口II相穿配的过孔，且在箱体电极与多层电极的侧面之间设有块状结构的电极固定块；本发明通过在单层电极管与多层电极管内通入循环冷却水，能够及时带走电极放电产生的热量，进而能够营造适宜的腔内环境，并且整个机构不产生环境污染，可实现环保循环利用。

技术领域

本发明涉及电极放电装置技术领域，具体为一种空心阴极放电电极水冷装置。

背景技术

等离子体表面处理已逐步在半导体制造、微电子封装、集成电路等行业普遍应用。所谓的等离子体表面处理，就是利用等离子体通过化学或物理作用时对工件表面进行处理，实现分子水平的表面清洗、粗化、改性，改变表面性状的工艺。

但是常规等离子体表面处理过程中，待处理的工件处于等离子体离化区域中，处理过程中伴随着物理变化和化学变化过程，电极在等离子体中电子、离子等高能活性粒子会产生很大的热效应，造成对处理工件及设备的损伤。

发明内容

本发明的目的在于提供一种空心阴极放电电极水冷装置，以解决上述背景技术中提出的，在常规等离子体表面处理过程中，待处理的工件处于等离子体离化区域中，处理过程中伴随着物理变化和化学变化过程，电极在等离子体中电子、离子等高能活性粒子会产生很大的热效应，造成对处理工件及设备的损伤的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种空心阴极放电电极水冷装置,包括空心电极与箱体电极，所述空心电极为多层电极，且多层电极的主体为环绕成多层管状结构的多层电极管，且在多层电极管的两端分别设有进水口II与出水口II，所述进水口II与出水口II的外圆上均套设有密封套 II，且在进水口II与出水口II的端部均固定套接有水管接头II；

所述箱体电极的侧面设有与进水口II与出水口II相穿配的过孔，且在箱体电极与多层电极的侧面之间设有块状结构的电极固定块。

优选的，所述空心电极为单层电极，且单层电极的主体为呈S型管状结构的单层电极管，且在单层电极管的两端分别设有进水口I与出水口I，所述进水口I与出水口I的外圆上均套设有密封套I，且在进水口I与出水口I的端部均固定套接有水管接头I。

优选的，所述电极固定块的上下两端分别设有V型槽体结构的上卡板与下卡板，且在上卡板与下卡板之间设有菱形块状结构的撑块，所述上卡板、下卡板与撑块的中间均贯穿有螺杆，所述上卡板的上端并且在螺杆上螺接有螺母。

优选的，所述密封套I与螺杆的外圆上均设有环形沟槽，且此环形沟槽与过孔相嵌配。

优选的，所述电极固定块对称设于多层电极的左右两侧，所述电极固定块的整体均由聚四氟乙烯材料构成。

优选的，所述多层电极管各个层面之间的间隙相等，且多层电极管所绕环形与箱体电极的内腔相随型。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明结构设置合理，功能性强，具有以下优点：本发明优于传统的电极放电装置，通过在单层电极管与多层电极管内通入循环冷却水，能够及时带走电极放电产生的热量，进而能够营造适宜的腔内环境，并且整个机构不产生环境污染，可实现环保循环利用。

附图说明

图1为多层电极与箱体电极装配体的俯视图；

图2为多层电极与箱体电极装配体爆炸视图；

图3为多层电极的轴侧结构视图；

图4为电极固定块的半剖结构视图；