[发明专利]一种空心阴极放电电极水冷装置在审
申请号: | 201911067234.7 | 申请日: | 2019-11-04 |
公开(公告)号: | CN110798957A | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 詹铁锤;程光周;薛进;倪红德 | 申请(专利权)人: | 合肥杰硕真空科技有限公司 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24 |
代理公司: | 41166 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郭辽原 |
地址: | 230000 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层电极 出水口 进水口 电极 电极水冷装置 多层管状结构 空心阴极放电 电极固定块 循环冷却水 单层电极 电极放电 空心电极 块状结构 水管接头 循环利用 侧面 固定套 密封套 管内 腔内 外圆 环绕 环保 | ||
1.一种空心阴极放电电极水冷装置,包括空心电极与箱体电极(3),其特征在于:所述空心电极为多层电极(4),且多层电极(4)的主体为环绕成多层管状结构的多层电极管(401),且在多层电极管(401)的两端分别设有进水口II(402)与出水口II(403),所述进水口II(402)与出水口II(403)的外圆上均套设有密封套II(404),且在进水口II(402)与出水口II(403)的端部均固定套接有水管接头II(405);
所述箱体电极(3)的侧面设有与进水口II(402)与出水口II(403)相穿配的过孔(301),且在箱体电极(3)与多层电极(4)的侧面之间设有块状结构的电极固定块(2)。
2.根据权利要求1所述的一种空心阴极放电电极水冷装置,其特征在于:所述空心电极为单层电极(1),且单层电极(1)的主体为呈S型管状结构的单层电极管(101),且在单层电极管(101)的两端分别设有进水口I(102)与出水口I(103),所述进水口I(102)与出水口I(103)的外圆上均套设有密封套I(104),且在进水口I(102)与出水口I(103)的端部均固定套接有水管接头I(105)。
3.根据权利要求1所述的一种空心阴极放电电极水冷装置,其特征在于:所述电极固定块(2)的上下两端分别设有V型槽体结构的上卡板(201)与下卡板(202),且在上卡板(201)与下卡板(202)之间设有菱形块状结构的撑块(203),所述上卡板(201)、下卡板(202)与撑块(203)的中间均贯穿有螺杆(204),所述上卡板(201)的上端并且在螺杆(204)上螺接有螺母(205)。
4.根据权利要求1所述的一种空心阴极放电电极水冷装置,其特征在于:所述密封套I(104)与螺杆(204)的外圆上均设有环形沟槽,且此环形沟槽与过孔(301)相嵌配。
5.根据权利要求1所述的一种空心阴极放电电极水冷装置,其特征在于:所述电极固定块(2)对称设于多层电极(4)的左右两侧,所述电极固定块(2)的整体均由聚四氟乙烯材料构成。
6.根据权利要求1所述的一种空心阴极放电电极水冷装置,其特征在于:所述多层电极管(401)各个层面之间的间隙相等,且多层电极管(401)所绕环形与箱体电极(3)的内腔相随型。
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