[发明专利]一种晶片载片旋转式清洁装置在审
| 申请号： | 201911056368.9 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110793332A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 李响 | 申请（专利权）人： | 苏师大半导体材料与设备研究院(邳州)有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00;B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 横杆 第一挡板 第二挡板 固定架 支撑柱 烤盘 载盘 半导体加工领域 石墨承载板 支撑固定架 传动连接 活动连接 平行设置 清洁装置 驱动机构 热量扩散 相对设置 支撑方式 悬空状 旋转式 支撑点 空腔 载片 种晶 遮挡 驱动 | ||
1.一种晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，包括：
固定架（100），用于固定载盘（200），包括相对设置的第一挡板（110）和第二挡板（140）、固定连接第一挡板（110）和第二挡板（140）的若干根第一横杆（120）、设置在第一挡板（110）和第二挡之间的第二横杆（130），载盘（200）置于第一横杆（120）之间围成的空腔内，且与第一挡板（110）和第二挡板（140）平行设置；
若干根支撑柱（300），用于支撑固定架（100），支撑柱（300）一端活动连接于第二横杆（130）上，支撑柱（300）另一端作为支撑点，使固定架（100）呈悬空状；
驱动机构（400），用于驱动固定架（100）进行旋转，与第二横杆（130）传动连接，带动第二横杆（130）进行旋转。
2.根据权利要求1所述的晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，驱动机构（400）包括第一齿轮（410）、第二齿轮（421）、转动轴（420）和和驱动马达（430），第一齿轮（410）固定在第二横杆（130）上，第一齿轮（410）啮合有第二齿轮（421），第二齿轮（421）固定在转动轴（420）上，转动轴（420）的一端固定有第二齿轮（421），转动轴（420）的另一端与驱动马达（430）传动连接。
3.根据权利要求1所述的晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，第一横杆（120）上设置若干个卡槽（122），载盘（200）放置于卡槽（122）内。
4.根据权利要求1所述的晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，第一挡板（110）和第二挡板（140）上均设置有通孔（111），第一横杆（120）的两端分别插入通孔（111）内并通过螺栓（121）固定在第一挡板（110）和第二挡板（140）上。
5.根据权利要求4所述的晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，第一横杆（120）相对于固定架（100）中心的位置通过调整第一横杆（120）在通孔（111）中的位置来调节，调节第一横杆（120）相对固定架（100）中心的位置可以夹持不同尺寸的晶片载盘（200）。
6.根据权利要求1所述的晶片载片旋转式清洁装置，其特征在于，第一横杆（120）在第一挡板（110）和第二挡板（140）上均匀分布。
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