[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极具有至少一个空隙层，在所述间隙电极的厚度方向上，所述空隙层与所述间隙电极的顶面与底面均存在距离；

所述间隙电极具有在谐振器的厚度方向上层叠设置且彼此并联连接的多个电极层，所述空隙层设置在对应的电极层之间；

在所述空隙层的范围内，限定所述空隙层的电极层彼此分隔开；且

在平行于谐振器的厚度方向的投影中，所述空隙层与所述谐振器的有效区域的重合面积至少为所述有效区域的面积的50%。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述间隙电极具有一个空隙层。

3.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空隙层为空气间隙层或者真空间隙层。

4.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空隙层的厚度在50Å-10000Å的范围内。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述空隙层的厚度在100Å-5000Å的范围内。

6.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

在谐振器的一个平行于谐振器的厚度方向的截面中，位于对应空隙层的上下两侧的两个电极层的位于空隙层横向边缘的端部彼此电连接。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

在谐振器的一个平行于谐振器的厚度方向的截面中，所述两个电极层的引脚端彼此电连接以及所述两个电极层的非引脚端彼此电连接。

8.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述谐振器还包括与空隙层的平面形状相同的间隙钝化层，所述间隙钝化层与所述空隙层层叠，所述间隙钝化层设置于对应的电极层的顶面，所述空隙层覆盖所述间隙钝化层的顶面。

9.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述间隙电极仅具有两个电极层以及设置在两个电极层之间的仅一层空隙层。

10.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述底电极为间隙电极，且所述空隙层构成所述声学镜。

11.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

顶电极、底电极、压电层和空隙层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；且

所述谐振器还包括设置在基底的声学空腔，在谐振器的俯视图中，所述空隙层全面覆盖所述声学空腔。

12.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述顶电极为间隙电极；

顶电极、压电层、底电极与声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域形成谐振器的有效区域。

13.一种滤波器，包括根据权利要求1-12中任一项所述的体声波谐振器。

14.一种电子设备，包括根据权利要求13所述的滤波器或者根据权利要求1-12中任一项所述的谐振器。