[发明专利]一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法

说明书

本发明涉及一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法，包括：已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。只要利用一束已知波长的激光束，即可通过本装置得到任何待测激光束的波长，且本装置操作简便，计算得到的待测激光束波长精度也高。

技术领域

本发明涉及测量仪器技术领域，特别涉及一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法。

背景技术

激光干涉仪的测量精度与其激光波长的精度直接相关，传统对于未知波长的激光的测量很麻烦，并且不准确，对激光波长的精度要求难以得到保证。

发明内容

本发明的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种干涉式激光波长测量装置及其使用方法，使用已知激光束得到的干涉现场为参考，得到待测激光束的波长。

为了实现上述发明目的，本发明实施例提供了以下技术方案：

一种干涉式激光波长测量装置，包括：

已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；

待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；

第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。

本发明使用已知激光束，通过增大光程差的方法，得到已知激光束的干涉数据，作为参考干涉数据，使待测激光束也增大与已知激光束相同的光程差变化量，再根据参考干涉数据，得到待测激光束的波长。

更进一步地，为了更好的实现本发明，所述已知激光光学组件包括：

已知激光源，用于发射已知激光束；

第一分光镜，用于接收已知激光源发射的已知激光源，并将接收到的已知激光束透射至第一聚光透镜，以及反射至第一直角反射镜；

第一聚光透镜，用于接收第一分光镜透射的已知激光束，以及第二直角反射镜反射的已知激光束，并将接收到的已知激光束透射至第一光电探测器；

第一光电探测器，用于接收第一聚光透镜透射的已知激光束；

第一处理器，用于检测第一光电探测器上产生的干涉现象，并得到参考干涉数据。

更进一步地，为了更好的实现本发明，所述待测激光光学组件包括：

第二分光镜，用于接收待测激光束，并将接收到的待测激光束透射至第二聚光透镜，以及反射至第一直角反射镜；

第二聚光透镜，用于接收第二分光镜透射的待测激光束，以及第二直角反射镜反射的待测激光束，并将接收到的待测激光束透射至第二光电探测器；

第二光电探测器，用于接收第二聚光透镜透射的待测激光束；

第二处理器，用于检测第二光电探测器上产生的干涉现象，并根据已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长。