[发明专利]一种确定性光学抛光技术驻留时间求解方法有效
| 申请号: | 201910999471.0 | 申请日: | 2019-10-21 |
| 公开(公告)号: | CN110842652B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
| 发明(设计)人: | 张云飞;黄文;李凯隆;樊炜;张建飞;周涛;陈立;郑永成;田东 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
| 代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 林菲菲 |
| 地址: | 621000*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 确定性 光学 抛光 技术 驻留 时间 求解 方法 | ||
1.一种确定性光学抛光技术驻留时间求解方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤S1,通过干涉仪测量待加工工件面形,计算待加工工件的去除量分布;
步骤S2,采集采斑件的抛光斑以获得去除函数;
步骤S3,根据待加工工件的尺寸设计抛光轨迹;
步骤S4,基于去除量分布、去除函数和抛光轨迹,构建机床速度、加速度性能约束下的驻留时间双边约束求解模型;
步骤S5,进行双边约束下的驻留时间求解;
步骤S6,根据驻留时间计算轨迹点的进给速度,验证后生成数控程序进行加工;
所述步骤S1具体包括以下步骤:
步骤S11,利用干涉仪对待加工工件表面的面形进行测量,并将测量到的面形与目标面形比较,获得待加工工件去除量分布h(x,y);
步骤S12,将去除量分布进行离散化,得到M个离散化后的控制点,第k个控制点的去除量为Hk(x,y),其中,1≤k≤M;
所述步骤S2具体包括以下步骤:
步骤S21,选取一件与待加工工件同材质的采斑件,测量其初始面形,然后在抛光时间Ts下采集抛光斑,测量采斑后的工件面形;
步骤S22,将采斑件采斑前后测量的面形相减,之后再除以采斑时间,获得去除函数r(x,y);
所述步骤S3具体包括:根据待加工工件的尺寸设置抛光轨迹类型和抛光轨迹参数,得到N个离散的抛光轨迹点,抛光轨迹上第i个轨迹点Pi的坐标表示为(xi,yi),其中,1≤i≤N;
所述步骤S4中构建的满足机床速度、加速度约束的驻留时间模型如下式所示:
式中,R为影响系数矩阵,t为驻留时间向量,H为控制点目标去除量向量,λ为阻尼系数,tl为驻留时间解的下限约束条件,tp为驻留时间解的上限约束条件,为矩阵或向量的2范数。
2.根据权利要求1所述的一种确定性光学抛光技术驻留时间求解方法,其特征在于,所述求解模型中:
式中,ti(xi,yi)为抛光工具位于轨迹点Pi(xi,yi)的驻留时间,rki(xk-xi,yk-yi)为抛光工具位于第i个轨迹点时对第k个控制点的材料去除率,hk为第k个控制点的目标去除量,1≤k≤M,1≤i≤N;
式中,tli为轨迹点Pi的驻留时间解的下限约束值,tl=[tl1,tl2,…,tlN]T;tpi为轨迹点Pi的驻留时间解的上限约束值,tp=[tp1,tp2,…,tpN]T;Si为轨迹点Pi-1到轨迹点Pi的距离;vmax为设定的机床最大速度;vmin为设定的机床最小速度;a为设定的机床最大加速度,1≤i≤N;
轨迹点Pi-1到轨迹点Pi的距离Si、机床最大速度vmax、机床最小速度vmin和机床最大加速度a的设定需求满足约束条件:
3.根据权利要求2所述的一种确定性光学抛光技术驻留时间求解方法,其特征在于,所述步骤S5具体包括:调用双边约束最小二乘解法器求解模型,得到驻留时间向量t的数值解;验证每一个轨迹点的驻留时间ti在tli和tpi之间。
4.根据权利要求3所述的一种确定性光学抛光技术驻留时间求解方法,其特征在于,所述步骤S6具体包括:
步骤S61,根据抛光轨迹和驻留时间求解计算机床各段目标点的进给速度;
步骤S62,验证每一个轨迹点的进给速度vi在vmin和vmax之间,验证其满足机床速度和加速度性能约束条件;
步骤S63,生成数控程序,进行加工后面形误差预测,与实际加工后面形误差进行对比。
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