[发明专利]一种研磨调节装置及研磨装置

说明书

本发明的实施例提供了一种研磨调节装置及研磨装置，涉及半导体领域。研磨调节装置包括气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，控制单元用于在固定组件工作时，控制第一开关阀开启并控制第二开关阀关闭，使气源与固定组件连通；控制单元用于在补正组件工作时，控制第二开关阀开启并控制第一开关阀开启，使气源与补正组件连通。在本发明中，固定组件与补正组件分别通过第一支路及第二支路与气源连接，二者之间相互独立工作，工作过程互不影响，从而提高了调节效果。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种研磨调节装置及研磨装置。

背景技术

TFT－LCD(液晶显示屏)玻璃基板在研磨机研磨过程中，补正、卸载原先是一路控制，产品在卸载时因吹气量过大，造成产品在搬运爪上发生偏移，引起G2研磨时，出现产品偏移较大，补正时容易产生补正不到位的现象，导致其对玻璃基板的调节效果较差。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种研磨调节装置和研磨装置，其能够提高对玻璃基板的调节精度。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明实施例提供一种研磨调节装置，包括：气源、控制单元、第一支路、第二支路、第一开关阀及第二开关阀，所述第一开关阀安装在所述第一支路上，所述第二开关阀安装在所述第二支路上，所述第一支路与所述第二支路均与所述气源连接，所述第一支路远离所述气源的一端与一固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与一补正组件连接，所述控制单元与所述第一开关阀及所述第二开关阀电连接；其中所述固定组件用于固定玻璃基板，所述补正组件用于调整玻璃基板的位置；

所述控制单元用于在所述固定组件工作时，控制所述第一开关阀开启并控制所述第二开关阀关闭，使所述气源与所述固定组件连通；

所述控制单元用于在所述补正组件工作时，控制所述第二开关阀开启并控制所述第一开关阀开启，使所述气源与所述补正组件连通。

在可选的实施方式中，所述第二支路包括主路、第一分路及第二分路，所述主路的一端与所述气源连接，所述第一分路及所述第二分路并联后与所述主路连通，所述第二开关阀设置在所述主路上，所述第一分路及所述第二分路分别与一所述补正组件连接。

在可选的实施方式中，所述第一分路上设置有第一单向阀。

在可选的实施方式中，所述第二分路上设置有第二单向阀。

在可选的实施方式中，所述研磨调节装置还包括减压控制器，所述减压控制器设置在所述气源与所述第一支路及所述第二支路之间。

在可选的实施方式中，所述第一支路上设置有第三单向阀。

第二方面，本发明实施例提供一种研磨装置，用于研磨玻璃基板，包括固定组件、补正组件及如前述实施方式任一项所述的研磨调节装置，所述第一支路远离所述气源的一端与所述固定组件连接，所述第二支路远离所述气源的一端与所述补正组件连接，所述固定组件用于固定所述玻璃基板，所述补正组件用于调整所述玻璃基板的位置。

在可选的实施方式中，所述研磨装置还包括图像采集装置及研磨件，所述研磨件靠近所述固定组件设置，所述图像采集装置与所述控制单元电连接；

所述研磨件用于研磨所述玻璃基板；

所述图像采集装置用于采集所述玻璃基板的图像信息，并发送至所述控制单元；

所述控制单元用于依据接收到的所述图像信息，并依据所述图像信息判断所述玻璃基板相对于所述研磨件的角度，当所述玻璃基板相对于所述研磨件的角度超过预设角度时，控制所述第一开关阀关闭并控制所述第二开关阀开启。