[发明专利]高效、稳定的超薄柔性太赫兹屏蔽材料的制备方法

权利要求书

1.一种金属/石墨烯层层组装复合薄膜材料在超薄柔性太赫兹屏蔽材料上的应用，该复合薄膜材料的厚度为40-160nm，金属为铜；金属基底的厚度为20-30μm；制备方法经过以下步骤：

1) 将20-30μm的铜箔清洗干净，然后置于1000℃管式炉中，在氩气的保护下，通入氢气，退火，然后通入甲烷，生长石墨烯，在氩气和氢气中自然降温；

2) 在生长有石墨烯的铜箔表面旋涂一层PMMA薄膜；

3) 将铜箔用CuSO₄/HCl刻蚀液去除，其浓度为200 g/L CuSO₄与浓盐酸1:1混合，得到PMMA薄膜支撑的石墨烯，清洗干净；

4) 在聚酰亚胺基底上通过真空蒸镀沉积一层铜薄膜；

5)将PMMA薄膜支撑的石墨烯转移到步骤4）聚酰亚胺基底的铜薄膜上，烘干，用丙酮清洗去除PMMA薄膜；

6) 交替重复上面铜薄膜的沉积和石墨烯的转移步骤，最终得到一层以上的铜/石墨烯复合薄膜材料。

2.根据权利要求1所述的应用，其特征在于所述的金属铜用镍、钌、钴、铱、钯、铂及其合金中的至少一种替换。

3.根据权利要求1所述的应用，其特征在于所述的交替重复上面铜薄膜的沉积和石墨烯的转移步骤，最终得到1-4层的铜/石墨烯复合薄膜材料，厚度40-160 nm。