[发明专利]一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置

权利要求书

1.一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置，其特征在于，包括真空腔和夹具，叶盘通过夹具安装在真空腔内，真空腔的侧壁上布置有四个涂层沉积靶，所述四个涂层沉积靶分别为第一靶(41)、第二靶(44)、第四靶(47)和第五靶(49)，其中，第二靶(44)和第四靶(47)置于叶盘的进气边一侧；第一靶(41)置于叶盘的排气边一侧；第五靶(49)置于叶片叶尖一侧；

夹具(2)包括基座(20)、传动轴(21)、驱动面(22)、保护壳(23)和中间轴(26)，其中，传动轴(21)的一端安装在基座(20)上，传动轴(21)的另一端连接驱动面(22)，驱动面(22)上安装有中间轴(26)，中间轴(26)上套装用于固定安装叶盘的保护壳(23)；

保护壳(23)为圆柱体结构，所述圆柱体结构的侧壁上沿其圆周方向开设有开口槽，所述叶盘的轮盘(24)安装在开口槽内，叶盘的叶片(25)伸出至保护壳(23)外侧；

第二靶(44)的中心位于距离叶片叶尖的1/4叶高处；第四靶(47)的中心位于距离叶片叶尖的1/3叶高处，且第二靶(44)和第四靶(47)中心之间的连接与真空腔(1)的直径重合；

第一靶(41)的中心位于距离叶尖1/4叶高处；第五靶(49)的中心位于叶尖截面弦线的中心位置；

所述真空腔的侧壁上还设置有两个离子注入靶，分别为第三靶(46)和第六靶(50)，其中，第三靶(46)置于叶盘的进气边一侧，且第三靶(46)的中心位于距离叶尖1/2叶高处；第六靶(50)置于叶盘的排气边一侧，且第六靶(50)的中心位于距离叶尖1/2叶高处；第三靶(46)和第六靶(50)中心之间的连接经过真空腔(1)的中心；

叶盘通过夹具(2)安装在真空腔中时，叶盘叶片的进气边朝上，距离叶片叶尖1/3处的截面弦线与第二靶44的中心线之间形成有15～25度的倾角。

2.根据权利要求1所述的一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置，其特征在于，保护壳(23)为分体式结构，包括本体和盖体，本体和盖体之间通过紧固螺帽(27)连接。