[发明专利]一种研磨头离线测试平台及方法

说明书

本发明公开了一种研磨头离线测试平台，包括控制箱，所述控制箱内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板，两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板，所述执行机构安装在第一抽板上，所述检测机构安装在第二抽板上；本发明还公开了一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：S1：通气；S2：检测；S3：控制；S4：判断。本发明通过研磨头悬挂安装模拟实际研磨状态测量研磨头的漏气和磨损情况，且在测量时选择多组不同气压进行测量，增加测量的准确性，且多个压力传感器设置在多个可扩展模组条上，减少单个压力传感器测量区域，增加测量的精确度。

技术领域

本发明涉及芯片加工制造领域，尤其涉及一种研磨头离线测试平台及方法。

背景技术

加工制造芯片行业，研磨芯片时需要使用到研磨头，研磨头多次使用后会出现损耗、漏气造成压力分布不均，导致产品出现不良品，直到后期检测产品的时候才发现问题，使用的期间没有设备平台能够及时检测研磨头，在问题出现前进行预防检测，以及出现问题后及时排查出问题点。

现有检测技术在研磨头出现不良品后，只能在线检查，逐个导致排查问题点时非常不便，更无法提前预防，导致材料的浪费。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在只能在线逐个排查，无法提前预防，导致材料浪费的缺点，而提出的一种研磨头离线测试平台及方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种研磨头离线测试平台，包括控制箱，所述控制箱内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板，两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板，所述执行机构安装在第一抽板上，所述检测机构安装在第二抽板上。

优选地，所述执行机构从上到下依次分为气路连接器、金属头箍和研磨头。

优选地，所述气路连接器固定安装在控制箱的内顶壁上，所述气路连接器的上端开设有多个第一连接气孔，气路连接器的多个第一连接气孔可根据实际情况定制数量、形状和排列位置。

优选地，所述气路连接器的下端与研磨头的上端连接安装，且气路连接器与研磨头的连接处锁紧安装有金属头箍。

优选地，所述研磨头通过金属头箍和气路连接器悬挂在控制箱的内顶壁上，气体通过气路连接器进入研磨头后，气体从研磨头的下表面流出，测量研磨头下表面各处气压即可了解研磨头是否有漏气情况以及表面磨损情况。

优选地，所述检测机构包括压力传感器模组和控制器。

优选地，所述压力传感器模组包括多个可扩展模组条，所述压力传感器模组固定安装在第二抽板的上端，所述压力传感器模组上安装有第二连接气孔，所述控制器固定安装在控制箱的侧壁上，所述控制器上安装有第三连接气孔；

多个可扩展模组条可安装多个压力传感器扩展，扩展后每个压力传感器的监测区域减小，检测精度增加，即增加了离线检测的精确性。

优选地，所述控制箱的侧壁内开设有管线通道，所述管线通道的包括三个连通口，三个所述连通孔分别设置在控制箱的内顶壁和控制箱的内侧壁位于第二抽板上方的相邻两处，所述管线通道内布置有气管和串口线，所述第二连接气孔分别与第一连接气孔和第三连接气孔通过气管连接。

优选地，所述控制箱的上顶壁上嵌设安装有显示模组，所述显示模组上安装有触摸显示屏，所述显示模组通过串口线穿设在管线通道内与控制器连接。

一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：

S1：通气；气流从控制箱的外部压入控制器内，控制器将气流传输至压力传感器模组内，压力传感器模组将气流传输至气路连接器；