[发明专利]一种防腐蚀恒温加热炉

说明书

本发明涉及一种防腐蚀恒温加热炉，包括电热炉、保温杯、烧杯、温度传感器，保温杯为采用PVDF材料制成的圆周面具有空气隔热层的杯体，其杯体内直径略大于烧杯外直径，杯体内壁上固定温度传感器，电热炉为红外反射加热方式的加热体，带有温控开关并与温度传感器相连，烧杯置于保温杯内，在保温杯与烧杯的空隙处加导热油，电热炉固定于保温杯底部。将盛有浓酸的烧杯放置于加热炉的保温杯内，设定好需加热到的具体温度即可进行加热和长时间保温。本发明的有益效果是结构简单、防酸碱、温度精准可调节、加热较为均匀、可长时间自动保温等。

技术领域

本发明涉及一种用于强酸加热及保温的装置，特别涉及一种防腐蚀恒温加热炉。

背景技术

近年来，我国半导体行业发展极为迅猛，集成电路和其它产品对芯片的需求持续增加，国内外对圆晶的需求同样快速增长。集成电路中所使用的圆晶一般对表面要求极高，圆晶表面的有机物和颗粒等杂质会严重影响圆晶的外延生长。通过加热后的强酸如硫酸等对圆晶进行清洗是目前常用的一种极为有效的去除有机物的方法。

强酸的加热需要通过加热炉进行，然而，目前市场并没有专门为酸处理设计的加热炉，各厂商使用的加热炉普遍存在着无法防酸腐，加热不均匀，无法长时间保温及加热炉指示温度与酸液本身温度不符的问题。

发明内容

鉴于现有技术存在的问题，本发明提供一种防腐蚀恒温加热炉，是一种针对强酸的加热保温装置，具体技术方案是，一种防腐蚀恒温加热炉，包括电热炉、

保温杯、烧杯、温度传感器，其特征在于：所述的保温杯为采用PVDF材料制成的圆周面具有空气隔热层的杯体，其杯体内直径略大于烧杯外直径，杯体内壁上固定温度传感器，所述的电热炉为红外反射加热方式的加热体，带有温控开关并与温度传感器相连，烧杯置于保温杯内，在保温杯与烧杯的空隙处加导热油，电热炉固定于保温杯底部。

本发明具有的优点和有益效果是，结构简单，防酸碱，温度精准可调节，加热较为均匀，可长时间自动保温等。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种防腐蚀恒温加热炉，底部为非透明的电热炉1，通过红外反射作用进行加热。加热炉的上方保温杯2为采用PVDF材料制成的圆周面具有空气隔热层5的杯体，其大小为略大于烧杯3直径，保温杯2的空气层，可达到极好的隔热效果，杯体内壁上固定温度传感器4，用以监测温度，并将信号传出，当温度低于或高于设定温度时，设备可自动开闭电热炉1调节温度。烧杯3置于保温杯2中，烧杯3与保温杯2中间由导热油填充，导热油的作用既是为了导热，及时反映烧杯3中溶液温度，也是利用其密度较小，温度均匀稳定的特点在烧杯3四周对烧杯3内溶液进行保温，尽量克服如硫酸等酸液密度大、底部加热时存在温度梯度、加热不均匀的现象。电热炉1固定于保温杯2底部。

尽管已描述了本专利的具体方案，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些方案作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括本方案以及落入本方案保温杯范围的所有变更和修改。