[发明专利]坩埚

权利要求书

1.一种坩埚，其特征在于，所述坩埚内在原料区的上方设置有抑流网，所述抑流网用于抑制所述坩埚内的从坩埚顶部向坩埚底部流动的气流流向原料区；

所述抑流网包括基板，所述基板呈波浪形，所述基板上在波峰位置上设置有多个第一通孔，在波谷位置上设置有多个第二通孔，在所述波谷与所述波峰之间的位置上设置有多个第三通孔；

多个所述第三通孔的大小从波谷到波峰的方向逐渐增大，所述第一通孔的大小大于第二通孔的大小，所述第二通孔的大小大于多个第三通孔中的最大的第三通孔的大小。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚在内壁上设置有安装台，所述抑流网放置在所述安装台上。

3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一通孔和第三通孔均为圆形，所述第二通孔为椭圆形；多个所述第一通孔的孔径相同，多个所述第二通孔的孔径相同；

所述基板呈波浪形延伸的方向为宽度方向，垂直于宽度方向的方向为长度方向；多个所述第一通孔在基板的波峰位置的长度方向上依次等间距间隔设置；多个所述第二通孔在基板的波谷位置的长度方向上依次等间距设置；

所述第三通孔沿所述波谷向所述波峰的方向设置有多排，每排上设置有多个沿基板的长度方向等间距设置且孔径相同的第三通孔。

4.根据权利要求3所述的坩埚，其特征在于，所述基板的波峰位置与波谷位置之间的峰高与所述基板的宽度的比例在1：10～1：20之间，所述波峰位置的宽度与所述波谷位置的宽度比例在1：3～1：5之间。

5.根据权利要求3或4所述的坩埚，其特征在于，所述第一通孔的孔径为5mm～15mm，所述第三通孔的孔径为2mm～5mm；

所述基板上的所有第一通孔、第二通孔以及第三通孔的总的开孔面积占所述基板的总面积的20％～40％。

6.根据权利要求1～3任一项所述的坩埚，其特征在于，所述抑流网的边缘轮廓与坩埚的内壁形状适配，所述抑流网的边缘连接有安装板，所述安装板与所述坩埚连接。

7.根据权利要求6所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚内还可拆卸设置有金属过滤网，所述金属过滤网设置在所述抑流网的上方，且所述金属过滤网与所述抑流网间隔设置。

8.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚的内壁上向内凸出有载台，所述载台沿所述坩埚的内壁的周向呈环形设置，且所述载台形成的筒形空间从下到上渐缩；

所述金属过滤网设置在所述载台的上沿上，并覆盖在所述筒形空间上。

9.根据权利要求7所述的坩埚，其特征在于，所述坩埚内在所述金属过滤网的上方还设置有引流罩。