[发明专利]一种单向透光玻璃及制备方法有效
申请号: | 201910859206.2 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110550868B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 李旺;唐鹿 | 申请(专利权)人: | 江西科技学院 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 330000*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单向 透光 玻璃 制备 方法 | ||
本发明公开了一种单向透光玻璃,包括:玻璃基板以及依次叠加设置在玻璃基板一侧表面的复合电介质层、非晶硅层、第一SiOx层、微晶硅层、第二SiOx层;其中,复合电介质层和非晶硅层组成第一光学模块,第一SiOx层、微晶硅层和第二SiOx层组成第二光学模块;该单向透光玻璃的制备方法为:在玻璃基板上沉积复合电介质层;在复合电介质层上采用等离子增强化学气相沉积法沉积非晶硅层;在非晶硅层上采用等离子增强化学气相沉积法沉积第一SiOx层;在第一SiOx层上沉积微晶硅层;在微晶硅上沉积第二SiOx层。本发明利用上述玻璃的各层之间不同折射率和各层膜厚度的组合,构成一个非对称结构光学器件,使得两个面对光具有不同反射率,从而实现单向透光。
技术领域
本发明涉及光学玻璃领域,特别是涉及一种单向透光玻璃及其制备方法。
背景技术
单向玻璃具有单向的透视功能,在一些特定场所具有重要的应用价值。现有技术中单向透视玻璃一般采用贴膜的结构,通过这种贴膜结构的来实现玻璃的单向透视效果,但这种通过贴膜的方式存在一定的问题,例如所贴的单向膜在受到摩擦后容易受到破坏、脱落等缺点。
现有技术中另一种单向透视玻璃是在玻璃表面上沉积金属层及其相配合的他功能层结构。这种结构虽然简单,但单向透视玻璃的金属层容易从玻璃表面脱离,特别是在长期使用时,金属层中的金属会被氧化,会直接造成单向透视玻璃的透视性降低,甚至失去单向透视的作用。另外,上述的现有单向透视玻璃均只有在两侧光源存在明显差别时,单向透光作用才会显著,因此,在实际应用时存在一定的局限性。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种结构牢固、简单的单向透光玻璃。该玻璃利用各层之间不同折射率和各层膜厚度组合,构成一个非对称结构光学器件,利用光的干涉原理,使得两个面对光具有不同反射率,从而实现单向透光。
本发明采用的技术方案为:一种单向透光玻璃,包括:玻璃基板以及依次叠加设置在所述玻璃基板一侧表面的复合电介质层、非晶硅层、第一SiOx层、微晶硅层、第二SiOx层;其中,所述复合电介质层和所述非晶硅层组成第一光学模块,所述第一SiOx层、所述微晶硅层和所述第二SiOx层组成第二光学模块;所述复合电介质层、所述非晶硅层、所述第一SiOx层、所述微晶硅层、所述第二SiOx层依次沉积在所述玻璃基板同一侧面。
本发明一个较佳实施例中,所述复合电介质层包括SiOx、SiNx、SiNyOx一种或者多种复合薄膜。
本发明一个较佳实施例中,所述复合电介质层、所述非晶硅层、所述第一SiOx层、所述微晶硅层、所述第二SiOx层均能够通过等离子体增强化学的气相沉积法制备沉积。
为了解决现有技术的不足,本发明的另一技术方案为:一种单向透光玻璃的制备方法,步骤如下:
S1在所述玻璃基板上沉积复合电介质层;
S2在所述复合电介质层上采用等离子增强化学气相沉积法沉积非晶硅层;
S3在所述非晶硅层上采用等离子增强化学气相沉积法沉积第一SiOx层;
S4在所述第一SiOx层上采用等离子增强化学气相沉积法沉积微晶硅层;
S5在所述微晶硅上采用等离子增强化学气相沉积法沉积第二SiOx层。
本发明一个较佳实施例中,,所述复合电介质层的厚度为12-20nm,所述复合电介质层的折射率在1.6-2.2之间;所述非晶硅层的厚度为20-35nm,折射率在3.2-3.7之间;所述第一SiOx层的厚度为20-40nm,折射率在1.3-2.3;所述微晶硅层厚度为10-15nm,折射率在3.6-3.8;所述第二SiOx层的厚度为40-80nm,折射率在2.3-2.7。
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