[发明专利]定向薄膜换能器及其制备方法、扬声器在审
| 申请号： | 201910858095.3 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110572756A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 崔钊;张锋;宋晓欣;刘文渠;董立文;吕志军;孟德天;王利波;姚琪;岳阳 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R31/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 柴亮;张天舒 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 绝缘层 基底 第二电极 第一电极 定向薄膜 换能器 空腔 扬声器 薄膜换能器 单元背离 压电膜 制备 贯穿 | ||
1.一种定向薄膜换能器，其特征在于，包括：基底、设置在所述基底上的振元单元；所述振元单元包括：第一电极、第二电极和设置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电膜层；
设置于所述振元单元背离所述基底一侧的绝缘层，所述绝缘层具有与所述振元单元对应设置的空腔，所述空腔贯穿所述绝缘层。
2.根据权利要求1所述的定向薄膜换能器，其特征在于，所述绝缘层包括柔性绝缘层。
3.根据权利要求2所述的定向薄膜换能器，其特征在于，所述柔性绝缘层的材料包括聚酰亚胺。
4.根据权利要求1所述的定向薄膜换能器，其特征在于，所述基底包括柔性基底。
5.根据权利要求1所述的定向薄膜换能器，其特征在于，还包括：声波反射层，其设置于所述振元单元与所述基底之间，用于反射所述振元单元产生的声波。
6.根据权利要求1所述的定向薄膜换能器，其特征在于，所述振元单元还包括：设置于所述压电膜层靠近所述基底一侧的绝缘保护层。
7.一种定向薄膜换能器的制备方法，用于制备权利要求1至6中任意一项所述的定向薄膜换能器，其特征在于，所述制备方法包括：
提供基底；
在基底上形成振元单元，所述振元单元包括：第一电极、第二电极和设置于所述第一电极与所述第二电极之间的压电膜层；
在形成有所述振元单元的基底上形成绝缘层，所述绝缘层具有与所述振元单元对应设置的空腔，所述空腔贯穿所述绝缘层。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述在形成有所述振元单元的基底上形成绝缘层的步骤包括：
通过涂覆工艺在形成有所述振元单元的基底上形成绝缘材料层；
通过刻蚀工艺对所述绝缘材料层的对应所述振元单元的位置进行刻蚀，以形成所述空腔。
9.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述基底的材料包括柔性绝缘材料；
所述提供基底的步骤包括：
在衬底基板上形成柔性绝缘材料，并通过固化工艺使所述柔性绝缘材料固化形成基底；
所述制备方法还包括：将形成有所述空腔的所述基底从所述衬底基板上剥离。
10.一种扬声器，其特征在于，包括权利要求1至6中任一项所述的定向薄膜换能器。
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