[发明专利]一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵及工作方法有效
申请号: | 201910835404.5 | 申请日: | 2019-09-05 |
公开(公告)号: | CN110601497B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 于泳;李凯;林海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院力学研究所 |
主分类号: | H02K44/02 | 分类号: | H02K44/02 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 交流电 驱动 乙醇 行波 型微泵 工作 方法 | ||
1.一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵,其特征在于,包括微电极板上设置的电极阵列和微通道,所述电极阵列包括对称设置在微通道两侧的微电极接触点,所述微电极接触点上等间距阵列有若干个电极组,每个所述电极组包含四个电极,且位于微通道两侧的微电极接触点上的所述电极交错排列置于微通道中;
位于所述微通道一侧的微电极接触点为两个,并在若干个所述电极组上施加相同电压、相同频率和不同相位的正弦交流电;
且每个所述电极组的相邻所述电极之间的相位差按照0°、180°、90°和270°排列,向微通道内注入加了乙酸铵电解质的乙醇溶液以形成电渗流,所述电极阵列的四个所述微电极接触点施加交流电的相位角分别为0°、90°、180°和270°,交流电频率在5~500Hz范围内;
电极阵列上产生行波电场,将四个电极的相位交换,就可以改变电渗流的流动方向。
2.根据权利要求1所述的一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵,其特征在于,位于微通道两侧的微电极接触点上的电极宽度和间距相同,为10~50μm。
3.根据权利要求2所述的一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵,其特征在于,位于微通道一侧的两个微电极接触点上的电极之间设置有绝缘层。
4.根据权利要求1所述的一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵,其特征在于,所述微电极接触点和电极的材料相同,为金、铂或铜中的任意一种金属。
5.一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵工作方法,其特征在于,其包含权利要求1-4任一项所述的交流电渗驱动乙醇行波型微泵,所述工作方法包括如下步骤:
S100、在硅、玻璃、聚二甲基硅氧烷(PDMS)或聚甲基丙烯酸甲酯上加工微通道和具有四个微电极接触点的电极阵列,并将电极阵列的电极阵列置于微通道内进行凹槽封装,加工成行波微泵;
S200、向微通道内注入加了乙酸铵电解质的乙醇、丙醇、丁醇或其他醇类溶液;
S300、向电极阵列的四个微电极接触点施加相同电压、相同频率和不同相位的正弦交流电,驱动乙醇溶液流动。
6.根据权利要求5所述的一种交流电渗驱动乙醇行波型微泵工作方法,其特征在于,在乙醇、丙醇、丁醇或其他醇类溶液中添加乙酸铵(CH3COONH4)电解质,调节乙醇溶液的电导率为5~100uS/cm。
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