[发明专利]液体喷射头

权利要求书

1.一种液体喷射头，所述液体喷射头包括：

多层布线层，所述多层布线层具有沿分层方向交替堆叠的多个布线层和多个绝缘层，其中最外层为绝缘层；

喷射孔形成构件，所述喷射孔形成构件布置在所述多层布线层的第一最外表面上，并且具有穿过其形成以喷射液体的喷射孔；以及

通孔电极，所述通孔电极布置在通孔中，所述通孔在所述第一最外表面和所述多层布线层的与所述第一最外表面相反的第二最外表面之间穿过所述多层布线层，

其中

所述多个布线层包括第一布线层，所述第一布线层具有在所述分层方向上最靠近所述喷射孔形成构件定位的最近表面，

其中，所述通孔电极与所述多个布线层的与所述第一布线层的所述最近表面不同的至少一个表面保持接触，并且电连接到所述多个布线层，并且

其中所述通孔电极连接到供应电信号和电力中的至少一者的驱动电源。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中

所述通孔电极布置在所述通孔中以便不从所述多层布线层的所述第一最外表面突出。

3.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中

所述多个布线层包括不同于所述第一布线层的第二布线层，并且所述通孔电极在所述第二布线层的面向所述喷射孔形成构件的表面处电连接到所述第二布线层。

4.根据权利要求3所述的液体喷射头，其中

所述多层布线层的所述通孔具有在深度方向上阶梯状改变的直径，以便暴露所述第二布线层的面向所述喷射孔形成构件的表面。

5.根据权利要求2所述的液体喷射头，所述液体喷射头还包括：

基板，所述基板布置在所述多层布线层的第二最外表面上，

其中所述第一布线层具有从靠近所述喷射孔形成构件定位的表面朝向所述基板倾斜的倾斜表面，

其中所述通孔电极在所述倾斜表面处电连接到所述第一布线层。

6.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中

所述多个布线层包括不同于所述第一布线层的第二布线层，并且所述通孔电极在所述第一布线层的侧表面处电连接到所述第一布线层或者在所述第二布线层的侧表面处电连接到所述第二布线层。

7.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中

所述喷射孔形成构件布置成在所述多层布线层的所述第一最外表面处封闭所述通孔的开口。

8.根据权利要求2所述的液体喷射头，所述液体喷射头还包括：密封材料，所述密封材料由与所述喷射孔形成构件相同的材料形成，并且布置成在所述多层布线层的所述第一最外表面处封闭所述通孔的开口。

9.根据权利要求2所述的液体喷射头，其中

所述通孔电极由形成在所述通孔的内表面上的多个金属层组成。

10.根据权利要求1所述的液体喷射头，所述液体喷射头还包括：基板，所述基板布置在所述多层布线层的所述第二最外表面上，所述通孔穿过所述基板和所述多层布线层。

11.根据权利要求1所述的液体喷射头，所述液体喷射头还包括：用于产生将用于喷射液体的能量的能量产生元件，所述能量产生元件在与所述喷射孔相对定位的位置处布置在所述多层布线层上。

12.根据权利要求1所述的液体喷射头，其中

所述通孔电极包括选自金、铜、镍、钯、锡、钛和铬的至少一种金属。

13.根据权利要求10所述的液体喷射头，其中

所述基板由硅制成。

14.根据权利要求13所述的液体喷射头，所述液体喷射头还包括布置在所述基板与所述通孔电极之间的绝缘层。