[发明专利]集成三种激光加工工艺的实验装置

说明书

本发明公开了一种集成三种激光加工工艺的实验装置，包括超快激光器、二氧化碳激光器、位于超快激光器所发激光的光线传输路径上的第一组反射镜、位于二氧化碳激光器所发激光的光线传输路径上的第二组反射镜、XY轴运动平台和Z轴运动平台，XY轴运动平台上设有用于放置有可随其一同运动的工件，所述Z轴运动平台上设有可随其沿其一同运动用于加工工件的第一振镜组件、第二振镜组件、二氧化碳镜座组件和激光切割组件。本发明将切边、倒角和打孔三种不同的工艺集成在一个实验装置上完成，且利用多个反射镜形成不同的光线传播路线，再利用不同的激光光路完成不同的加工工艺，有效减少设备数量、节省设备占地面积和成本，有效提高实验加工效率。

技术领域

本发明涉及一种硬脆材料加工设备，尤其涉及一种集成三种激光加工工艺的实验装置。

背景技术

超短脉冲激光由于其脉冲时间短，峰值能量高等特点，在材料加工中热影响区小，能够实现更好效果的冷加工而被广泛应用于硬脆材料的加工。超短脉冲激光常应用于硬脆材料的切边、倒角、打孔等工艺。现有工件加工，需要利用多台激光加工设备完成不同类型的加工工艺，设备占地面积大，成本高，且效率低。

因此，亟待解决上述问题。

发明内容

发明目的：本发明的目的提供一种可以利用多条激光光路完成不同的加工工艺、减少设备数量、节省设备占地面积和成本，有效提高实验加工效率的集成三种激光加工工艺的实验装置。

技术方案：为实现以上目的，本发明公开了一种集成三种激光加工工艺的实验装置，包括超快激光器、二氧化碳激光器、位于超快激光器所发激光的光线传输路径上的第一组反射镜、位于二氧化碳激光器所发激光的光线传输路径上的第二组反射镜、XY轴运动平台和Z轴运动平台，所述XY轴运动平台上设有用于放置有可随其一同运动的工件，所述Z轴运动平台上设有可随其沿其一同运动用于加工工件的第一振镜组件、第二振镜组件、二氧化碳镜座组件和激光切割组件。

其中，还包括隔振光学平台，该隔振光学平台上设有用于放置Z轴运动平台的龙门框架，所述超快激光器、二氧化碳激光器和XY轴运动平台均设置在隔振光学平台上。

进一步，还包括位于二氧化碳激光器出光处的光快门。

优选的，所述第一组反射镜包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第七反射镜和第八反射镜，其中第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第七反射镜按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第一道激光传播路径，并将激光传输至第一振镜组件用于加工工件；第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第六反射镜按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第二道激光传播路径，并将激光传输至第二振镜组件用于加工工件；第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜和第八反射镜按照超快激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第三道激光传播路径，并将激光传输至激光切割组件用于加工工件。

再者，所述第二组反射镜包括第九反射镜、第十反射镜、第十一反射镜和第十二反射镜，并按照二氧化碳激光器出光方向、加工工件时光束方向和实验装置空间位置依次排列形成第四道激光传播路径，并将激光传输至二氧化碳镜座组件用于加工工件。

进一步，所述第一振镜组件包括第一连接底板，以及均位于第一连接底板上的第一振镜、第一场镜和第十三反射镜，其中第十三反射镜用于反射超快激光器所发激光并传输至第一场镜用于加工工件。

优选的，所述第二振镜组件包括第二连接底板，以及均位于第二连接底板上的第二振镜、第二场镜和第十四反射镜，其中第十四反射镜用于反射超快激光器所发激光并传输至第二场镜用于加工工件。