[发明专利]一种新型高准确度差压变送器

权利要求书

1.一种新型高准确度差压变送器，其特征在于，包括壳体（1）、差压传感器（2）、测量膜盒（3），所述差压传感器（2）、测量膜盒（3）安装在所述壳体（1）内，所述差压传感器（2）安装在所述测量膜盒（3）上方；所述差压传感器（2）包括芯片（21）、管座（22），所述管座（22）由管座本体（221）与转接端子（222）组成，所述管座本体（221）与转接端子（222）通过玻璃烧结连接在一起，所述芯片（21）、管座（22）通过胶水在所述管座（2）底部固定连接；所述管座本体（221）包括差压烧结部件（2211）、贴片二极管（2212）、引脚玻璃管（2213）、引线（2214）、油管（2215），所述贴片二极管（2212）设置在所述差压烧结部件（2211）上，所述引线（2214）上部与所述转接端子（222）相连、下部通过所述引脚玻璃管（2213）与所述芯片（21）连接，所述油管（2215）穿设于所述差压烧结部件（2211）上；所述引线（2214）为镀金材料，所述油管（2215）为合金材质。

2.根据权利要求1所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述测量膜盒（3）包括硅油（31）、膜片（32），所述硅油（31）填充在所述膜片（32）与芯片（21）之间的容腔；所述膜片（32）包括低压端膜片（321）、高压端膜片（322）、中心膜片（323），所述低压端膜片（321）、高压端膜片（322）分别设置在所述测量膜盒（3）两侧，所述中心膜片（323）设置在所述低压端膜片（321）、高压端膜片（322）之间的中心。

3.根据权利要求2所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述硅油（31）的粘度为20 Pa·s。

4.根据权利要求2所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述中心膜片（323）为弹簧钢，所述弹簧钢的弹性模量为2×1011 Pa，泊松比为0.3，线膨胀系数为 10.8×10-6/℃。

5.根据权利要求2所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述低压端膜片（321）、高压端膜片（322）为波纹膜片，所述波纹膜片的型面为圆弧形，所述波纹膜片为软态不锈钢，弹性模量为 98×109Pa，线膨胀系数为 10.8×10-6/℃。

6.根据权利要求1所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述壳体（1）内还设置有电子线路（4），所述电子线路（4）设置在所述差压传感器（2）上方并通过转接端子（22）与所述差压传感器（2）连接。

7.根据权利要求3所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述芯片（21）与所述差压烧结部件（2211）的贴合处设置有环形槽，所述环形槽的外径为4.5mm，内径为3.2mm，深度为0.5mm 。

8.根据权利要求1所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述差压烧结部件（2211）的材料为316L不锈钢，杨氏模量为193GPa ，泊松比为0.31。

9.根据权利要求3所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述芯片（21）的材料为硅，杨氏模量为190GPa，泊松比为0.28。

10.根据权利要求3所述的新型高准确度差压变送器，其特征在于，所述差压烧结部件（2211）、芯片（21）之间设置有陶瓷管（23），所述陶瓷管（23）的两端分别与芯片（21）和差压烧结部件（2211）粘接。